說明
TTR 911 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測量范圍,基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。
配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù),并可提供實時壓力測量結(jié)果。更多詳情,請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情,請參閱第 6.4 章。
TTR 911 N THERMOVAC 變送器用途廣泛,可用作獨立裝置,或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外,每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補償。
變送器擁有多達(dá)三個機械繼電器,這些繼電器可用于過程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備,用于獲取壓力讀數(shù),或進行壓力控制。
傳感器技術(shù)
變送器具備單獨的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統(tǒng))) 傳感器元件,元件測量基于熱傳導(dǎo)性。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片,其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀,空腔內(nèi)無法進行對流,因此,傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散,氣體分子只到達(dá)熱元件,在此處可測量氣體的熱損耗。傳感器元件極為堅固耐用,可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
應(yīng)用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中,如:工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
· 一般真空壓力測量
· 前級管道和粗抽壓力測量
· 氣體回填測量和控制
· 質(zhì)譜儀控制
· 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)
· 系統(tǒng)過程控制
· 檢測異常壓力,利用繼電器設(shè)定點采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>
· 控制系統(tǒng)壓力
P/N: 89656V02 和 230701V02 含有 Parylene-HT®涂層傳感器。
Parylene-HT®是保形涂層,氣體阻隔性,不釋氣。與標(biāo)準(zhǔn) MEMS Pirani 相比,Parylene-HT®涂層傳感器對各種腐蝕性氣體的耐受性更強。涂層覆蓋整個傳感器芯片,包括接線。因此,暴露于處理氣體的材料只有 Parylene-HT®涂層。 如需更多詳情,請聯(lián)系應(yīng)用支持部門。
廢棄處理
TTR 911 N 變送器是根據(jù) RoHS (在電子電氣設(shè)備中限制使用某些有害物質(zhì)) 指令制造的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
測量原理: 熱傳導(dǎo)性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定
測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 至 1000 毫巴
精確度(1) (N2): | 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 | ±10% | |||||
1×10-3 至 100 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 | ±5% | ||||||
100 至 1000 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 | ±25% | ||||||
重復(fù)性(1) (N2): | 1×10-3 至 100 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 | ±2% | |||||
電源電壓: | 9-30 伏直流 | |||||||
功耗: | < 1.2 瓦 | |||||||
熔絲 (熱可恢復(fù)): | 200 毫安 | |||||||
模擬輸出 (100 歐阻抗): | 0.61-10 伏直流,Log. 1.286 伏直流/十進制 | |||||||
模擬輸出分辨率: | 16 位 | |||||||
模擬輸出更新率: | 16 赫茲 | |||||||
傳感器故障,模擬輸出: | 0.5 伏 | |||||||
材料暴露于真空(2): | ||||||||
P/N: 89654V02、89660V02、230700V02: | 304 號不銹鋼、密封材料 FPM | |||||||
P/N: 89656V02、230701V02: | 304 號不銹鋼、密封材料 FPM、Parylene-HT® | |||||||
機械設(shè)定點繼電器: | ||||||||
P/N: 89660V02: | 3 | |||||||
P/N: 89654V02、89656V02: | 2 | |||||||
設(shè)定點繼電器范圍: | 2×10-4 至 1000 毫巴 | |||||||
設(shè)定點繼電器觸點額定值: | 1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載) | |||||||
設(shè)定點繼電器響應(yīng)時間: | < 100 毫秒 | |||||||
設(shè)定點繼電器觸點電阻: | 100 毫歐 (值) | |||||||
設(shè)定點繼電器觸點耐久性: | 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載) | |||||||
設(shè)定點繼電器觸點耐久性: | 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載) | |||||||
軟件設(shè)定點繼電器: | ||||||||
P/N: 230700V02、230701V02: | 2 | |||||||
數(shù)字接口循環(huán)時間 | 1 毫秒 | |||||||
內(nèi)部容積: | KF16: | 2.80 厘米3 | ||||||
外殼材質(zhì): | 304 號不銹鋼 | |||||||
重量: | ||||||||
P/N: 89654V02、89656V02: | 292 克 | |||||||
P/N: 89660V2: | 168 克 | |||||||
P/N: 230700V02、230701V02: | 338 克 | |||||||
允許壓力: | 6 巴 | |||||||
運行溫度: | 0 至 40 °C (32 至 104 °F) | |||||||
烘烤溫度 (電源關(guān)閉): | 85 °C (185 °F) | |||||||
燈絲溫度: | 超過室溫 35 °C | |||||||
異物防護等級: | IP40 | |||||||
泄漏速率: | < 5?0-9 毫巴?升/秒 | |||||||
(1) 精確度和重復(fù)性數(shù)值是零位調(diào)整后在室溫氮氣氛下測得的典型數(shù)值。 | ||||||||
(2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表,請聯(lián)系LEYBOLD。 | ||||||||
Parylene-HT®是Specialty Coating Systems, Inc 的商標(biāo)。 |
配件和備件編號
零件 |
產(chǎn)品號 |
TTR 911 N,DN16 KF,Display,2SP | 89654V02 |
TTR 916 N C,DN16 KF,Display,2SP | 89656V02 |
TTR 911 N,DN16 KF,RS232 | 89660V02 |
TTR 911 N,DN16 KF,EtherCat | 230700V02 |
TTR 911 N C,DN16 KF,EtherCat | 230701V02 |
備用傳感器 TTR 911 N/TTR 916 N,DN16 KF | 230650V02 |
備用傳感器 TTR 911 N C/TTR 916 N C,DN16 KF | 230651V02 |
Display 1 | 230001 |
Display 2 | 230024 |
Display 3 | 230025 |
Graphix 1 | 230680V01 |
Graphix 2 | 230681V01 |
Graphix 3 | 230682V01 |
A 型電纜,5 米 | 12426 |
A 型電纜,10 米 | 230012 |
A 型電纜,15 米 | 12427 |
A 型電纜,20 米 | 12428 |
A 型電纜,30 米 | 12429 |
A 型電纜,50 米 | 12431 |
A 型電纜,75 米 | 12432 |
A 型電纜,100 米 | 12433 |
螺旋管 DN 16 ISO-KF | 230082 |
定心環(huán) (1.4305 號不銹鋼),含 O 型環(huán),DN16 KF | 88346 |
定心環(huán) (不銹鋼),含燒結(jié)金屬過濾器,DN16 KF | 88351 |
卡環(huán) (鋁),DN16 KF | 18341 |
定心環(huán),含細(xì)濾器 DN16 KF | 88396 |
更多信息請聯(lián)系萊寶:安博元科技 info