儀器簡(jiǎn)介:
LCL-13型薄膜測(cè)厚儀根據(jù)多次反射光譜相干原理,本儀器可提供非接觸測(cè)量薄膜厚度,折射率,吸收系數(shù)等;采用軟件版本,具有納米級(jí)精確測(cè)量和方便使用等優(yōu)點(diǎn);測(cè)量方便度和準(zhǔn)確度遠(yuǎn)好于常用光學(xué)橢偏儀。是薄膜研究,光學(xué)鍍膜,和半導(dǎo)體生產(chǎn)的測(cè)量研究?jī)x器。
實(shí)驗(yàn)內(nèi)容:
1、學(xué)會(huì)薄膜和涂層的厚度測(cè)量及折射率和吸收系數(shù)的測(cè)定
主要配置和參數(shù):
序號(hào) | 名稱 | 規(guī)格和參數(shù) |
1 | 厚度范圍 | 20nm-50um(只測(cè)膜厚),100nm-10um(同時(shí)測(cè)量膜厚和光學(xué)常數(shù)n,k)根據(jù)薄膜材料的種類,其范圍有所不同 |
2 | 準(zhǔn)確度 | <1nm或<0.5% |
3 | 重復(fù)性 | 0.1nm |
4 | 波長(zhǎng)范圍 | 380nm-1000nm |
5 | 可測(cè)層數(shù) | 1-4層 |
6 | 樣品尺寸 | 樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm |
7 | 測(cè)量速度 | 5s-60s |
8 | 光斑直徑 | 1.2mm-10mm可調(diào) |
9 | 樣品臺(tái) | 290mm*160mm |
10 | 光源 | 長(zhǎng)壽命溴鎢燈(2000h) |
11 | 光纖 | 純石英寬光譜光纖 |
12 | 探測(cè)器 | 進(jìn)口光纖光譜儀 |
13 | 電源 | AC100V-240V,50Hz-60Hz |
14 | 重量 | 18kg |
15 | 尺寸 | 300mm*300mm*350mm |