儀器功能特點：
l 同時分析（5-12）個組氣體濃度；
l 采用美國進(jìn)口VICI色譜檢測器；
l 內(nèi)置排風(fēng)扇，數(shù)據(jù)測量穩(wěn)定、精度高、響應(yīng)時間短、可達(dá)到ppb級；
l 內(nèi)部氣路、色譜柱、閥件等均可采用鈍化處理技術(shù)，耐腐蝕、吸附性??；
l 10.1英寸高分辨率觸控彩色液晶屏，顯示信息清晰；
l 觸摸屏觸控操作簡單，可外接鼠標(biāo)、鍵盤。
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù) | |||
精 度 | ±0.01℃ | 基線噪聲 | ≤0.1mv |
輸出 | 1．（5-12）路（4-20）mA電流輸出接口； 2．1路網(wǎng)絡(luò)通訊、1路232通訊接口（可擴展）。 | 外形尺寸 | 儀表采用標(biāo)準(zhǔn)5U機箱， 482mm(長)*432mm(寬)*222mm(高) |
（PDD檢測器）檢測限 | |||||||
雜質(zhì) | H2 | He | O2 | N2 | Ar | Ne | CO |
ppb | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 10 | 25 |
雜質(zhì) | CO2 | CH4 | CF4 | C2F6 | SO2F2 | C3F8 | |
ppb | 5 | 5 | 10 | 20 | 20 | 20 | |
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