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雙腔室多功能磁控濺射鍍膜機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京中科科美科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/5/30 11:04:47
  • 訪問(wèn)次數(shù)241
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北京中科科美科技股份有限公司是直屬企業(yè)北京中科科儀股份有限公司的控股子公司,是專門(mén)從事真空系統(tǒng)集成產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、銷售和服務(wù)的國(guó)家企業(yè),為客戶提供真空系統(tǒng)整體解決方案和一站式服務(wù),包括真空集成系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)、工程實(shí)施、設(shè)備安裝、技術(shù)服務(wù)等。公司主營(yíng)業(yè)務(wù)分為空間環(huán)境模擬裝置、充氣回收檢漏系統(tǒng)、新能源真空應(yīng)用系統(tǒng)和大科學(xué)工程真空配套四大類別。公司的客戶行業(yè)涉及航空航天、新能源(太陽(yáng)能和核能)、新興裝備制造、科研院所、大科學(xué)工程、工業(yè)鍍膜、汽車制造、電子、低溫、超導(dǎo)、電氣檢測(cè)等多個(gè)領(lǐng)域。公司擁有的裝備制造實(shí)力,通過(guò)了ISO質(zhì)量管理體系和中核供應(yīng)商體系認(rèn)證,擁有3項(xiàng)發(fā)明及三十余項(xiàng)實(shí)用新型,曾參與:神光Ⅲ、北京高能同步輻射光源、特高壓蘇通GIL綜合管廊工程、江門(mén)中微子探測(cè)等國(guó)家大科學(xué)工程項(xiàng)目的實(shí)施,在真空領(lǐng)域具有的技術(shù)實(shí)力。中科科美致力于發(fā)展成為、具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的真空系統(tǒng)集成整體解決方案供應(yīng)商,實(shí)現(xiàn)與客戶的共同成長(zhǎng)!
檢漏設(shè)備
該設(shè)備用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系沉積??慑兏鞣N硬質(zhì)膜、金屬膜、合金、化合物、半導(dǎo)體、陶瓷膜、介質(zhì)復(fù)合膜,亦可鍍鐵磁材料。圖示鍍膜機(jī)為雙腔室,共用高真空系統(tǒng);為避免交叉污染,一個(gè)腔室可實(shí)現(xiàn)電子槍/電阻蒸發(fā)鍍膜,另一腔室可實(shí)現(xiàn)濺射鍍膜。
雙腔室多功能磁控濺射鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息

  一、應(yīng)用領(lǐng)域

  該設(shè)備用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系沉積??慑兏鞣N硬質(zhì)膜、金屬膜、合金、化合物、半導(dǎo)體、陶瓷膜、介質(zhì)復(fù)合膜,亦可鍍鐵磁材料。圖示鍍膜機(jī)為雙腔室,共用高真空系統(tǒng);為避免交叉污染,一個(gè)腔室可實(shí)現(xiàn)電子槍/電阻蒸發(fā)鍍膜,另一腔室可實(shí)現(xiàn)濺射鍍膜。

  二、性能參數(shù)

  1. 極限真空壓力:5×10-5Pa;

  2. 磁控靶:直徑Φ50 數(shù)量:2-4只;

  3. 靶單位面積功率:(W/cm2)5~20;

  4. 靶電源功率(W):DC500W,RF500W;

  5. 基片加熱溫度:0~500℃可控;

  6. 工藝氣體:MFC 1-3路;

  7. 樣品架:公轉(zhuǎn) 2-20rpm可調(diào);

  8. 電子槍:1套 6-10KW 電(氣)動(dòng)擋板;

  9. 蒸發(fā)電源:數(shù)量:1-2組 功率:2KW 電壓:0-35V;

  10. 其它配置:偏壓、膜厚儀、薄膜規(guī)、磁控靶電(氣)動(dòng)擋板可選;

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