SPV-200真空等離子清洗機(jī)的腔體“肚量”寬大，超大處理空間，真空腔體容量為200L，提升處理產(chǎn)能，可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，全自動(dòng)工作，減少人力成本。
工作原理
等離子表面處理是通過對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性”組成包括：離子、電子、原子、活性基因等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
真空等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為五大組成部分：控制系統(tǒng)、激勵(lì)電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、真空泵系統(tǒng)。
（A）控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)作用在于控制整個(gè)真空等離子清洗設(shè)備的運(yùn)行，以及整體系統(tǒng)的保護(hù)。
（B）激勵(lì)電源系統(tǒng)：等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵(lì)，真空等離子采用射頻電源（0-1000W）或中頻電源（0-2000W）進(jìn)行激勵(lì)，射頻電源頻率13.56MHz，中頻電源頻率40KHz。參數(shù)根據(jù)樣品實(shí)際情況可進(jìn)行調(diào)節(jié)，可達(dá)到的改性效果。
（C）真空腔體：真空腔體主要分為三種材質(zhì)：①不銹鋼真空腔體 ②石英腔體 ③高強(qiáng)度鋁合金腔體
電極板放置方式：①平板水平電極式 ②平板垂直電極式
根據(jù)不同行業(yè)與應(yīng)用領(lǐng)域選擇腔體材質(zhì)和電極板放置方式。
（D）工藝氣體系統(tǒng)：標(biāo)配兩路工藝氣體，根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分別選用氬氣、氧氣、氮?dú)狻錃?、四氟化碳?xì)怏w。
（E）真空泵系統(tǒng)：真空泵組主要分為三種：①油泵 ②羅茨泵 ③干泵
抽真空速度是決定一臺(tái)真空等離子清洗機(jī)工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。根據(jù)測(cè)量樣品的真空度要求和體積要求來配置真空泵組。
行業(yè)應(yīng)用
行業(yè)專用方案
攝像頭模組應(yīng)用
支架清洗：去除有機(jī)物，活化材料表面，提高親水性和粘附力，防止溢膠。
WB前處理：去除表面有機(jī)污染物粒子，增加貼合度，提高良品率。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
性能可靠“肚量”寬大
真空腔體采用航空鋁合金材料，級(jí)無縫焊接，腔體密封性強(qiáng)，電極面積達(dá)到575mmx510mm，腔體與電極之間的間隙可到34mm，靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入，分布方案，確保大批量處理的均勻性。
真空腔體采用航空鋁合金材料，級(jí)無縫焊接，腔體密封性強(qiáng)，電極面積達(dá)到575mmx510mm，腔體與電極之間的間隙可到34mm，靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入，分布方案，確保大批量處理的均勻性。
01
智能化程序化控制
PLC+7寸液晶觸摸顯示屏控制系統(tǒng)，一鍵啟動(dòng)，操作簡單，可設(shè)置多種實(shí)驗(yàn)參數(shù)，精確控制試驗(yàn)時(shí)間、真空度、功率等重要參數(shù)，多級(jí)管理權(quán)限，集簡易的操作體驗(yàn)與嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓に嚬芸貫橐惑w。
PLC+7寸液晶觸摸顯示屏控制系統(tǒng)，一鍵啟動(dòng)，操作簡單，可設(shè)置多種實(shí)驗(yàn)參數(shù)，精確控制試驗(yàn)時(shí)間、真空度、功率等重要參數(shù)，多級(jí)管理權(quán)限，集簡易的操作體驗(yàn)與嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓に嚬芸貫橐惑w。
02
超低清洗溫度
真空腔體由鋁合金材質(zhì)制造，經(jīng)過真空度檢漏測(cè)試，處理溫度低于45℃，保壓性能優(yōu)異，可滿足不同場(chǎng)合溫度要求，不對(duì)清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
真空腔體由鋁合金材質(zhì)制造，經(jīng)過真空度檢漏測(cè)試，處理溫度低于45℃，保壓性能優(yōu)異，可滿足不同場(chǎng)合溫度要求，不對(duì)清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
03
放電技術(shù)
電極有孔設(shè)計(jì)，可以使等離子體的濃度和強(qiáng)度增加，設(shè)備處理樣品更高效，放電技術(shù)，特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置，確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
電極有孔設(shè)計(jì)，可以使等離子體的濃度和強(qiáng)度增加，設(shè)備處理樣品更高效，放電技術(shù)，特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置，確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
04
一鍵安全保障
一鍵急停保護(hù)按鈕，可以快速終止運(yùn)行，以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。
一鍵急停保護(hù)按鈕，可以快速終止運(yùn)行，以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。
05
多路氣體控制
高精度氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，針對(duì)不同的產(chǎn)品，通入不同反應(yīng)氣體，雙路或多路工藝氣體，適用清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品，均勻清洗。
高精度氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，針對(duì)不同的產(chǎn)品，通入不同反應(yīng)氣體，雙路或多路工藝氣體，適用清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品，均勻清洗。
06
多種配件搭配
多種電源、腔體、泵組供選擇，自由搭配，的定制服務(wù)。
多種電源、腔體、泵組供選擇，自由搭配，的定制服務(wù)。
07
自動(dòng)化定制方案
經(jīng)過專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)對(duì)產(chǎn)品部件篩選，選出適合和優(yōu)質(zhì)的部件，確保設(shè)備性能*和長時(shí)間穩(wěn)定的運(yùn)行，同時(shí)可根據(jù)需求定制自動(dòng)化方案，保養(yǎng)維修成本低，便于成本控制。
經(jīng)過專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)對(duì)產(chǎn)品部件篩選，選出適合和優(yōu)質(zhì)的部件，確保設(shè)備性能*和長時(shí)間穩(wěn)定的運(yùn)行，同時(shí)可根據(jù)需求定制自動(dòng)化方案，保養(yǎng)維修成本低，便于成本控制。
08
產(chǎn)品推薦
SPV-60真空等離子清洗機(jī)
專為面積較大、形狀復(fù)雜的材料進(jìn)行表面改性處理，是實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕功效的理想選擇
SPV-100真空等離子清洗機(jī)
超低處理溫度45℃，不造成熱影響，確保穩(wěn)定的處理效果
SPV-150真空等離子清洗機(jī)
級(jí)焊接工藝，真空腔體密封性強(qiáng)，高密度等離子源，均勻清洗
SPK-800S寬幅射頻等離子清洗機(jī)
臺(tái)800mm超長處理寬度，單位面積處理時(shí)間提升3倍
外觀參數(shù)
| 外形尺寸 | 1350*1700*1200mm（寬*高*深） |
| 重量 | 400KG |
| 設(shè)備外觀顏色 | 銀灰色 |
電源系統(tǒng)
| 射頻電源 | 功率：0~1000W
頻率：13.56MHz |
| 中頻電源 | 功率：0~2000W
頻率：40KHz |
真空系統(tǒng)
| 腔體內(nèi)部尺寸 | 600*600*600mm（寬*高*深） |
| 厚度 | 25mm |
| 材質(zhì) | 鋁合金（可定制不銹鋼腔體） |
| 密封性 | 級(jí)焊接密封 |
| 電極板有效尺寸 | 575*510mm（寬*深） |
| 可用空間間距 | 34mm |
| 工作空間 | 8層 |
| 工作托盤 | 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選配（鋁材、鋼絲網(wǎng)） |
| 電極板布置方式 | 水平布置，可活動(dòng)抽取 |
| 泵組 | 羅茨泵+單級(jí)旋片泵 |
| 真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管 |
氣體系統(tǒng)
| 流量范圍 | 0~300SCCM |
| 工藝氣體氣路 | 標(biāo)配兩路，可定制（氬氣、氧氣、氮?dú)?、氫氣、四氟化碳?/span> |
控制系統(tǒng)
| 系統(tǒng)控制 | PLC |
| 交互方式 | 7寸觸控屏幕 |
晟鼎自主研發(fā)—國產(chǎn)中頻電源
頻率40KHz,功率2000W
晟鼎專屬定制—國產(chǎn)射頻電源
頻率13.56MHz，功率0~1000W
美國CERES—進(jìn)口射頻電源
頻率13.56MHz，功率0~600W或0~1000W可選
進(jìn)口中頻電源
頻率40KHz，功率2000W
橫電極腔體
應(yīng)用于芯片、攝像頭模組、PCB/FPC、晶圓等產(chǎn)品表面處理
豎電極腔體
應(yīng)用于LED行業(yè)，適用于各種類型產(chǎn)品治具或結(jié)構(gòu)
采購中心
