羅茨滑閥真空機(jī)組是由羅茨真空泵與滑閥真空泵串聯(lián)組成,滑閥真空泵作為預(yù)抽真空泵以及羅茨真空泵的前級真空泵使用,羅茨真空泵作為主抽真空泵。羅茨真空泵與滑閥真空泵抽速比大小選擇的主要依據(jù)是真空機(jī)組長期工作的真空度,真空機(jī)組長期工作區(qū)間在低真空,宜選擇較小的抽速比(2:1至4:1),如果真空機(jī)組長時(shí)間在高真空工作,則可選擇較大的抽速比(4:1至10:1)
·真空度高,中高真空區(qū)間抽氣效率高,工作范圍寬,節(jié)能。
·一體化機(jī)架,結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小。
·自動化程度高,操作簡單,維護(hù)方便,運(yùn)行安全,可靠耐用。
·可以根據(jù)用戶有具體需要,定制特殊的真空機(jī)組。
適用范圍
廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空干燥、真空浸漬、真空濾油、多晶硅生產(chǎn)、航空航天模擬試驗(yàn)等領(lǐng)域。