場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU7000(熱場(chǎng))(日立)、
此次推出的SU7000采用全新設(shè)計(jì)的探測(cè)器,使得對(duì)二次電子信號(hào)、背散射電子信號(hào)的檢測(cè)以及分離能力大大提升。以前我們要根據(jù)不同的觀察信號(hào)來調(diào)整樣品與透鏡之間的距離(工作距離/以下簡(jiǎn)稱WD),以獲得的觀察與分析條件,而SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測(cè)器系統(tǒng),可在同樣的WD的條件下更高效地接收各種信號(hào),縮短了樣品觀察和分析的時(shí)間,提高了測(cè)試效率?!《遥琒U7000還配置了可同時(shí)6通道顯示界面(前代機(jī)型只能同時(shí)顯示4通道),進(jìn)一步升級(jí)電鏡控制系統(tǒng),大幅提高了信號(hào)獲取速度,由此實(shí)現(xiàn)了樣品的高效率觀察。它還標(biāo)配超大樣品倉,增設(shè)了附件接口,可適用于各種樣品的觀察與分析。
主要特點(diǎn):
在相同的WD條件下,可同時(shí)實(shí)現(xiàn)二次電子,背散射電子觀察與X射線能譜分析。
可同時(shí)實(shí)現(xiàn)6通道檢測(cè)與顯示;
成像分辨率可達(dá)10240x7680像素;
配置18個(gè)附件接口,支持低至300Pa的低真空模式觀察;(選配)