該型號PECVD為整體精簡款，綜合了國內大多數廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點，觸摸屏集中一鍵控制，實驗證明此結構沉積速度快，成膜質量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了自主研發(fā)的實驗電爐AIO全自動智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡便，功能更加強大。
主要特點：
1. 管內真空度自動平衡——管內真空度實時監(jiān)測，自動平衡。PECVD工藝要求石英管內真空度通常在0.1～100Pa之間，該型號PECVD的AIO控制系統(tǒng)會通過真空泵的自動啟停來維持用戶設定的管內真空度，使成膜效果達的均勻性。
2. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統(tǒng)一集中調節(jié)和操控，協(xié)調控制——成儀AIO控制系統(tǒng)；
3. 射頻功率的定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間，自動運行；
4. 爐膛移動速度可調——根據實驗要求，用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離，在沉積結束后爐膛可自動移開沉積區(qū)，使樣品快速冷卻；
5. 整機結構融為一體——整機長度只有1.5米，移動方便，避免分散組裝的困擾。
| 加熱爐部分： | |
| 爐膛模式： | 開啟式可移動爐膛 |
| 顯示模式： | 7英寸觸摸屏 |
| 極限溫度： | 1200℃ |
| 工作溫度： | ≤1150℃ |
| 升溫速率： | 建議10℃/Min Max：30℃/Min |
| 爐體移動： | 有，速度可調 |
| 單溫區(qū)長度： | 主溫區(qū)長度：200mm（可選配氣體預熱部分） |
| 爐管規(guī)格： | 60*1150 mm |
| 控溫精度： | ±1℃ |
| 密封方式： | 快速法蘭密封 |
| 溫度曲線： | 30段"時間—溫度曲線"任意可設 |
| 預存曲線： | 可預存15條溫度曲線 |
| 超溫報警： | 有 |
| 過流保護： | 有 |
| 斷偶提示： | 有 |
| 測溫元件： | K型熱電偶 |
| 爐膛材料： | 氧化鋁纖維 |
| 外形尺寸： | 1500*600*1000MM |
| 信號頻率： | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率輸出范圍： | 5W-300W |
| 功率穩(wěn)定度： | ±0.1% |
| 整機效率： | >=70% |
| 功率因素： | >=90% |
| 冷卻方式： | 強制風冷 |
| 真空部分： | |
| 功率： | 500W |
| 抽氣速率： | 2Ls |
| 極限真空： | 4X10-2Pa |
| 氣路系統(tǒng)： | |
| 1～3路質量流量計可選（七星華創(chuàng)）： | |
| 準確度：±1.5%： | |
| 重復精度：±0.2%： | |
| 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa： | |
| 整機系統(tǒng)特色： | |
| 正壓測量： | -100Kpa---100Kpa |
| 真空測量： | 10-2Pa ～100Kpa（支持Ar測量） |
| 正壓保護： | 支持 |
| 壓力恒定： | 支持 |
| 智能氣路： | 支持 |
| 氣路定時： | 支持 |
| 射頻工作時間設定： | 支持 |
| 移動速度調節(jié)： | 支持 |
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