zonglen半導體器件高低溫測試設備chiller
半導體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設備。在常規(guī)PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術,并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應速度。
zonglen半導體器件高低溫測試設備chiller
應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置,CMP(工藝機械拋光), 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
變頻控制,智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制,高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
zonglen半導體器件高低溫測試設備chiller
溫度范圍:-20°C~+90°C
控溫精度:±0.1℃
觸摸屏操作,人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小