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混氣管式PECVD系統(tǒng)

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公司名稱河南順博熱處理設備有限公司
品牌
型號S-1200PC-HQ
所在地鄭州市
廠商性質其他
更新時間2023/12/22 11:41:22
訪問次數(shù)128

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河南熱處理設備有限公司是一家專業(yè)從事熱處理產品的研發(fā)、生產、制造、銷售、服務于一體的企業(yè)。公司產品涵蓋箱式爐、高溫管式爐、氣氛爐、箱式馬弗爐、CVD系統(tǒng)、PECVD設備、牙科爐、升降爐、真空爐、定制爐型等，廣泛用于粉末冶金、真空釬焊、陶瓷燒結、新能源材料研發(fā)、金屬光亮處理、零部件退火、科學研究等多個領域。多年來公司堅持以客戶需求為導向，致力于不斷提高產品品質和完善技術服務,憑借過硬的技術、豐富的實踐積累，先后研發(fā)出了一系列具有水準的實驗電爐和工業(yè)爐。電爐擁有完整、科學的質量管理體系，標準化的生產制造車間，具有年產1000臺電爐生產制造能力，生產規(guī)模位居，是國內具有影響力的實驗電爐、工業(yè)爐生產制造商。公司目前有一線員工百余人，多名專業(yè)熱工技術工程師和設計制造工程師，并聯(lián)合多所重點科研院校共同建立了多個技術研發(fā)項目，為每一位客戶提供高技術含量的產品解決方案和優(yōu)質的服務是電爐所有人的神圣職責！

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真空馬弗爐

產品簡介在線詢價

混氣管式PECVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質子流量計、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成PECVD設備是借助于光放電等方法產生等離子體,

混氣管式PECVD系統(tǒng) 產品信息

產品結構：
混氣管式PECVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質子流量計、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成
PECVD設備是借助于光放電等方法產生等離子體，光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質發(fā)生化學反應，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單。
軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調出。
產品用途：
混氣管式PECVD系統(tǒng)可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應用于刀具、高精模具、硬質涂層、裝飾等領域。
產品參數(shù)：