| 型號(hào) | ALD-1200 | ||
| ALD 控制面板 | 1 、5路控制溫控系統(tǒng)，可以加熱ALD里管路和ALD容器內(nèi)液體 2、2路氣體脈沖交替控制系統(tǒng)（交替時(shí)間、交替次數(shù)等、用單片機(jī)或PLC 控制能夠達(dá)到ms | ||
| ALD閥門(mén) | 1、能夠在不到 5 ms 內(nèi)完成閥門(mén)開(kāi)啟或關(guān)閉 2、高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命、在產(chǎn)品評(píng)估是循環(huán)次數(shù)超過(guò)了次 3、耐 熱 執(zhí) 行 器 、耐 溫 高 達(dá)200°C（392°F） | ||
| ALD原理 | ALD化學(xué)氣相沉積是將不同的反應(yīng)前驅(qū)物以氣體脈沖的形式交替送入反應(yīng)室中并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種方法（技術(shù)） | ||
| 源瓶
| 源瓶特點(diǎn) 1、所用管件采用316L不銹鋼，內(nèi)部經(jīng)400目機(jī)械拋光和電化學(xué)拋光，Ra≤0.25μm。 2、閥門(mén)采用美國(guó)世偉洛克球閥或隔膜閥。 3、密封墊片采用純銀鍍鎳墊片。 4、氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏率≤1.0*10mba L/s。
5、可盛裝化學(xué)品純度≥99.9995%。
6、總殘余元素量≤50PPb。 | ||
| ALD簡(jiǎn)圖
| 1、 不銹鋼真空腔體與ALD管路連接 2、 2個(gè)ALD閥門(mén)、控制2路管道交替脈沖輸入 3、多根加熱管給ALD管道和石英容器加熱、保證被汽化液體保持汽化狀態(tài)進(jìn)入反應(yīng)區(qū)域。 4、多個(gè)球閥控制管路的通過(guò)。 5、多個(gè)旁通支路、可以通氣其他氣體或運(yùn)載氣體。 | ||
| 功率 | 3.6KW | ||
| 管式爐 | 加熱區(qū)尺寸 | 160X540mm | |
| 電源 | 220V單相 | ||
| 加熱元件 | 國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進(jìn)口電阻絲） 點(diǎn)擊進(jìn)入資料下 | ||
| 控制方式 | 采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)， 主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)，主電路斷開(kāi)，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
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| 斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||
| 過(guò)溫保護(hù) | 有 | ||
| 過(guò)流保護(hù) | 有 | ||
| 控制精度 | ±1 | ||
| 觸發(fā)器 | 移相觸發(fā) | ||
| 電器 | 浙江正泰 | ||
| 可控硅 | 106/16E 德國(guó)西門(mén)康 | ||
| 溫度 | 1200 ℃ | ||
| 額定溫度 | 1100 ℃ | ||
| 升溫速率 | ≤30 ℃/ Min | ||
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/ Min | ||
| 熱電偶型號(hào) | K 型 | ||
| 電器認(rèn)證 |  | ||
| 四周表面溫度 | ≤45℃ | ||
| 質(zhì)量流量計(jì)
| 量程和氣體 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） | |
| 耐壓 | 3MP | ||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||
| 工作（使用）壓力 | 0.3MPa | ||
| 線性 | ±0.5%F.S. | ||
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S | ||
| 路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | ||
| 真空泵
| 型號(hào) | VRD-8 | |
| 極限分壓強(qiáng) | 5X10-2 Pa | ||
| 進(jìn)排氣接口 | KF25 | ||
| 電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 1440RPM | ||
| 抽氣速率 | 2.2L/S | ||
| 電機(jī)功率 | 0.4KW | ||
| 瑞典（INFICON） 皮拉尼陶瓷電容真空計(jì)
| 型號(hào) | PCG554 | |
| 輸入電壓 | 24V 1A DC（配有220V變壓器） | ||
| 真空計(jì)接口 | KF16 | ||
| 數(shù)字顯示 | 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr | ||
| 產(chǎn)品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | ||
| 重量 | 5 lbs | ||
| 檢測(cè)氣體 | 可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好。 | ||
| 是否防腐 | 防腐 | ||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤30ms | ||
| 測(cè)量范圍 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | ||
這款 ALD原子層氣相沉積系統(tǒng)由管式爐、不銹鋼真空室、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)和ALD系統(tǒng)組成。
管式爐以電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移向觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，
開(kāi)蓋保護(hù)系統(tǒng)：該爐安裝有行程開(kāi)關(guān)，當(dāng)爐蓋打開(kāi)時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，有效地保證使用者的安全。
1、 電阻絲
原絲 電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識(shí)別時(shí)要注意）、不會(huì)生銹，使用時(shí)間再長(zhǎng)都不會(huì)掉渣。
(3)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好
電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
溫場(chǎng)效果好
2、安裝有空氣開(kāi)關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過(guò)流或漏電時(shí)，空開(kāi)會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)
4、采用4周加熱，溫場(chǎng)更加均衡
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過(guò)UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、認(rèn)證
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