四川工業(yè)配件超聲波清洗機(jī)在半導(dǎo)體材料的制備過(guò)程中,每一道工序都涉及到清洗,而且清洗的好壞直接影響下一道工序,甚至影響器件的成品率和可靠性。由于ULSI集成度的迅速提高和器件尺寸的減小,對(duì)于晶片表面沾污的要求更加嚴(yán)格,ULSI工藝要求在提供的襯底片上吸附物不多于500個(gè)/m2×0.12um,金屬污染小于 1010atom/cm2。晶片生產(chǎn)中每一道工序存在的潛在污染,都可導(dǎo)致缺陷的產(chǎn)生和器件的失效。因此,硅片的清洗引起了專業(yè)人士的重視。以前很多廠家都用手洗的方法,這種方法人為的因素較多,一方面容易產(chǎn)生碎片,經(jīng)濟(jì)效益下降,另一方面手洗的硅片表面潔凈度差,污染嚴(yán)重,使下道工序化拋腐蝕過(guò)程中的合格率較低。所以,硅片的清洗技術(shù)引起了人們的重視,找到一種簡(jiǎn)單有效的清洗方法是當(dāng)務(wù)之急。專業(yè)介紹了一種超聲波清洗技術(shù),其清洗硅片的,是一種值得推廣的硅片清洗技術(shù)。
四川工業(yè)配件超聲波清洗機(jī)
晶片表面層原子因垂直切片方向的化學(xué)鍵被破壞而成為懸空鍵,形成表面附近的自由力場(chǎng),尤其磨片是在鑄鐵磨盤上進(jìn)行,所以鐵離子的污染就更加嚴(yán)重。同時(shí),由于磨料中的金剛砂粒徑較大,造成磨片后的硅片破損層較大,懸掛鍵數(shù)目增多,極易吸附各種雜質(zhì),如顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象,使磨片不合格。硅片清洗的目的就是要除去各類污染物,清洗的潔凈程度直接決定著ULSI向更高集成度、可靠性、成品率發(fā)展,這涉及到高凈化的環(huán)境、水、化學(xué)試劑和相應(yīng)的設(shè)備及配套工藝,難度越來(lái)越大,可見(jiàn)半導(dǎo)體行業(yè)中清洗工藝的重要性。
產(chǎn)品特點(diǎn):
·超聲波換能器28KHz/40KHz兩種可選,滿足更多行業(yè)使用要求。
·清洗槽采用優(yōu)質(zhì)SUS304不銹鋼一次沖壓成型,無(wú)焊接處,防水性能好。
·采用德國(guó)*的換能器粘接工藝,實(shí)現(xiàn)清洗槽內(nèi)無(wú)焊接??;無(wú)釘印及脫缸現(xiàn)象,*穿缸。
·清洗籃采用不銹鋼網(wǎng)篩氬焊成型,提高清洗效果。
·采用安全高效提高轉(zhuǎn)換效率及安全性能,每個(gè)功率為60W。
·超聲波工作時(shí)間LED數(shù)字顯示1-99分鐘任意可調(diào),適用于不同場(chǎng)合使用。
·LED數(shù)字顯示溫度0~80℃范圍內(nèi)任意可調(diào),更好的除油、除蠟,去污滿足不同行業(yè)使用要求。
·外殼采用優(yōu)質(zhì)防指紋不銹鋼壓花板制成,美觀大方。
·6L及以上含有排水及散熱裝置,人性化設(shè)計(jì),快捷排除清洗后的廢水。
·采用優(yōu)質(zhì)進(jìn)口部件,超聲波效率更高、功率更強(qiáng)、清洗速度更快。
技術(shù)參數(shù):
型 號(hào):MJ-15GT
控制方式:數(shù)顯控溫控時(shí)
容 量:15L
超聲功率:360W
加熱功率:400W
時(shí)間設(shè)定范圍:1-99min
溫度設(shè)定范圍:0-80℃
超聲頻率:28KHz/40KHz(可選)
內(nèi)槽尺寸:330×300×150(mm)
外形尺寸:360×330×330(mm)
包裝尺寸:455×390×400(mm)