詳細說明
生產的系列熱工設備:
全功能微控擴散系統(tǒng)
【產品簡介】
該系統(tǒng)式生產半導體器件和大規(guī)模集成電路的重要工藝設備,廣泛應用于半導體器件的擴散、氧化、退火、燒結等工藝,也可用于磁性材料的燒結及機械行業(yè)的淬火、冶金行業(yè)的燒結。
控溫采用研制的高精度電腦控制系統(tǒng),產品質量可靠,控制穩(wěn)定,操作簡單,維修方便。
【產品特點】
●工藝溫度段數:1—14段,可選段運行
●單段時間范圍:1—1080min/斜變段 1—9999min/恒溫段
●三個溫度測控回路獨立修正溫度測量值
●三個溫度測控點獨立修正溫度測量值
●PID參數,溫度修正量可在線修改
●溫度設定單位:℃ 分辨率:0.1℃
●工藝段時間設定單位:min,分辨率1min
●各類工藝數據斷電后長期保存
●工藝氣體流量,推拉舟運動狀態(tài)有微機實行閉環(huán)控制
●中文顯示各類提示信息
【主要技術指標】
●擴散爐管數:1—4管/臺
●爐管內徑:Φ90—Φ240mm
●恒溫區(qū)長度:≤600mm±1℃(300-#-800℃)
≤600mm±0.5℃(800-#-1250℃)
●單點穩(wěn)定性:±1℃/24h(300-#-800℃)
±0.5℃/24h(800-#-1250℃)
●氣源路數:≤6路/管
●氣源控制:MFC或浮子流量計
●推拉舟行程:1500mm
●推拉舟速度范圍及精度:(1—1000)±3mm
●推拉舟位置控制精度:≤3mm
●冷卻方式:水冷+風冷