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雙靶磁控及蒸發(fā)復(fù)合鍍膜儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)CY-MS500S-2TA1S
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/2/16 8:18:43
  • 訪問次數(shù)240
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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州*開發(fā)區(qū)863軟件園內(nèi),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備和材料制備原料代理的高科技公司。重點(diǎn)專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向,立志做材料制備技術(shù)及設(shè)備和原料的提供商。 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的“研發(fā)團(tuán)隊(duì)”憑借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),先后研發(fā)出了多款材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司 近年來,在社會(huì)各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請(qǐng)了多位國內(nèi)外重點(diǎn)高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時(shí)刻與國內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點(diǎn),推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、日韓等國家,并在國內(nèi)外市場獲得業(yè)界*。 如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對(duì)國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會(huì)而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負(fù)責(zé)到底。
壓片機(jī)
簡單介紹: 雙靶磁控及蒸發(fā)復(fù)合鍍膜儀不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶,蒸發(fā)鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺(tái),真空泵機(jī)組、真空測量規(guī)管,進(jìn)氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。雙靶磁控及蒸發(fā)復(fù)合鍍膜儀可用于電子產(chǎn)品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。
雙靶磁控及蒸發(fā)復(fù)合鍍膜儀 產(chǎn)品信息
詳情介紹:

CY-MS500S-2TA1S雙靶磁控及蒸發(fā)復(fù)合鍍膜儀可用于電子產(chǎn)品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實(shí)驗(yàn)室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。

設(shè)備主要由不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶,蒸發(fā)鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺(tái),真空泵機(jī)組、真空測量規(guī)管,進(jìn)氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。

設(shè)計(jì)特色

1. 設(shè)備主機(jī)采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動(dòng)化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)平臺(tái)。

2. 真空室采用下置靶設(shè)計(jì),樣品臺(tái)具有加熱和旋轉(zhuǎn)但是功能,可以使鍍膜效果更加均勻。

3. 設(shè)備真空獲得系統(tǒng)采用兩級(jí)真空泵組,前級(jí)泵為大抽速機(jī)械泵,有效縮從常壓至低真空的時(shí)間,主泵為渦輪分子泵,抽速高,真空獲取速度更快。 整體真空獲得系統(tǒng)干凈快速。

4. 真空腔體采用304不銹鋼制成,配有觀察窗口及擋板。造型美觀做工精細(xì),真空性能優(yōu)異。

5. 主要密封法蘭采用 CF系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優(yōu)良,能有效保證鍍膜質(zhì)量。

技術(shù)參數(shù)

磁控濺射頭

數(shù)量

2英寸 x2

冷卻方式

水冷

蒸發(fā)系統(tǒng)

蒸發(fā)源

鎢絲籃

*高溫度

1500℃

熱電偶

S型熱電偶

 

 

真空腔體

腔體尺寸

φ300mm X 300mm

觀察窗口

φ100mm

腔體材料

304不銹鋼

開啟方式

前開門式

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵

旋片泵

抽氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s

 

 

分子泵

渦輪分子泵

抽氣接口

CF150

抽氣速率

600L/s

排氣接口

KF40

真空測量

電阻規(guī)+電離規(guī)

 

 

極限真空

1.3x10-4Pa

供電電源

AC;220V 50/60Hz

電源配置

直流電源數(shù)量

1臺(tái)

輸出功率

≤1000W

輸出電壓

≤600W

響應(yīng)時(shí)間

<5ms

射頻電源數(shù)量

1臺(tái)

輸出功率

≤1000W

功率穩(wěn)定度

≤5W

 

 

射頻功率

13.56MHz

射頻穩(wěn)定度

±0.005%

膜厚監(jiān)控系統(tǒng)

膜厚儀測量分辨率

±0.03Hz

測量精度

±0.5%

測量上限

50000

測量速度

100~1000ms

水冷系統(tǒng)

水箱容積

9L

流量

10L/min

供氣系統(tǒng)

流量計(jì)類型

質(zhì)量流量計(jì)

量程

200sccm

氣體類型

Ar氣

 

 

 

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)尺寸

1400x750x1300mm

整機(jī)功率

4kw(主機(jī)+真空泵)

整機(jī)重量

295kg

樣品臺(tái) 

樣式一:尺寸150mm,加熱溫度≤500℃ 控溫精度±1℃, 旋轉(zhuǎn)速度1-20r/min


樣式二:尺寸φ150mm,高度 上下70mm精準(zhǔn)可調(diào),旋轉(zhuǎn)速度1~20rpm,加熱溫度 0~500℃



關(guān)鍵詞:真空泵 熱電偶
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