GSL-1100X-8.5-SR-III是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)滑軌爐，其爐管外徑為 8.5" O.D的滑軌真空管式爐， multi-gas fedthrough SS tube for LPCVD processing， 它可以在6“的基片上生長多種薄膜（在不同氣氛下）. 它溫度 1100°C， 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度+/-1°C。
技術(shù)參數(shù)
| 殼體結(jié)構(gòu) | - 雙層殼體，循環(huán)風(fēng)冷.
- 爐體表面溫度< 70 ºC
- 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環(huán)保節(jié)能
- 滑軌式法蘭結(jié)構(gòu)，方便放取樣品
- 三個加熱區(qū)實(shí)現(xiàn)更長的溫度區(qū)和一個特定的溫度梯度
- 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
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| 輸入電壓 | 220VAC 單相 |
| 功率 | 8kW |
| 石英管尺寸 | - 8.5" O.D x 8.2" I.Dx 51" Length
- 儀器中包含一根石英管，以下尺寸可以作為選用
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| 加熱元件 | NiCrAl 電阻絲 |
| 工作溫度 | - 工作溫度: 1100°C
- 連續(xù)工作溫度: 400 -1000°C
- 加熱冷卻速率: 10°C/min
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| 加熱區(qū) | - 總加熱區(qū)長度：900 mm (36")
- 三個溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)
- 恒溫區(qū): 500 mm (三個溫區(qū)可以設(shè)置同樣的溫度）
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| 溫度控制器 | - 三個溫度控制器，采用 PID 方式，通過可控硅來進(jìn)行溫度控制，可以設(shè)置30段升降溫程序
- 設(shè)有一個額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)
- 雙K型熱電偶 安裝在儀器里
- 控溫精度: +/-1°C
- 軟件接口模塊和PC機(jī)不在標(biāo)配內(nèi)需額外訂購
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| 密封法蘭和進(jìn)氣接口 | - 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達(dá)到 (機(jī)械泵：10-2 torr、分子泵：10-4 torr). 真空泵不包含在內(nèi)
- 右端法蘭上設(shè)有一個鎧裝熱偶檢測口和KF25真空接口. 標(biāo)配內(nèi)包括KF25真空擋板閥和1.2 米 KF-40 不銹鋼波紋管如需對爐膛溫度進(jìn)行校準(zhǔn)請訂購36" 長 x 1/4"dia K 型熱電偶
- 包括一個石英管堵,設(shè)備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射
- 左側(cè)法蘭安裝在可移動的滑軌機(jī)構(gòu)上. 法蘭上設(shè)有五路進(jìn)氣接口每個進(jìn)氣口采用精密不銹鋼針閥密封.
- 左端密封法蘭上裝有4片磨砂石英擋片用于阻止熱輻射. P建議采用水冷機(jī)組，為了美好的未來，請節(jié)約每一滴用水
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| 產(chǎn)品尺寸 | - 爐體: 1000L x 700 W x 1060 H mm
- 滑軌長度: 600mm L
- 注意: 你必須把爐體和滑動機(jī)構(gòu)放置在同一基準(zhǔn)面上。
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| 凈重 | 354Kg |
| 包裝尺寸 | 70" x 70" x 65" |
| 運(yùn)輸重量 | 354Kg |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如密封圈，爐管，加熱元件等易耗件 |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE certified |
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