脫氣膜是控制液體脫氣、供氣的中空纖維膜組件。具有致密表皮層的中空纖維不透過(guò)液體,只透過(guò)氣體,適合用于液體的脫氣、供氣。
在半導(dǎo)體工業(yè)中去除溶解氧和CO2以延長(zhǎng)離子交換的工作時(shí)間和改善EDI的性能。在MAKE-UP系統(tǒng)中除去溶解氧,在拋光階段去除溶解氧使之達(dá)到小于1ppb??倸怏w控制有助于加強(qiáng)超聲清洗效果。
脫氣膜廣泛地用于從水中除氧和其他液體除氧。氧氣O2對(duì)很多工藝過(guò)程有負(fù)面影響;氧氣會(huì)腐蝕和氧化材料。在電力和其他工業(yè)領(lǐng)域,如果沒(méi)有進(jìn)行脫氣, 管道,鍋爐和設(shè)備很容易被腐蝕。脫氣膜提供了一種無(wú)需化學(xué)品添加和大型脫氣塔的易于操作,模塊化的水中脫氧方法。還提供只須一個(gè)步驟就可達(dá)到同時(shí)去除氧氣O2和二氧化碳CO2 , 和氮?dú)饪刂频暮锰?。在半?dǎo)體領(lǐng)域的靈活應(yīng)用在半導(dǎo)體和薄膜平板工業(yè)領(lǐng)域,高含氧量會(huì)導(dǎo)致低良品率。在微電子領(lǐng)域,脫氣膜能滿足<1ppb。