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Aston™ 質(zhì)譜分析儀 CVD 典型應(yīng)用

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公司名稱伯東企業(yè)（上海）有限公司
品牌其他品牌
型號
所在地上海市
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2022/3/9 14:46:49
訪問次數(shù)544

產(chǎn)品標(biāo)簽:

質(zhì)譜儀分析儀器儀表

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　伯東企業(yè)(上海)有限公司專業(yè)代理各國真空產(chǎn)品位于中國上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)(上海)有限公司創(chuàng)建于1995年12月，是日本伯東株式會社獨資設(shè)立的外商投資企業(yè)，公司注冊資金為200萬美元，到目前為止公司從業(yè)員工有400多人。

　　伯東企業(yè)(上海)有限公司 ()專業(yè)銷售及維修德國Pfeiffer單雙級旋片泵，干泵，羅茨泵，分子泵；應(yīng)用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規(guī)管)；檢漏儀，質(zhì)譜儀，真空系統(tǒng)等等, 維修技術(shù)力量雄厚，保證 100 % 擁有標(biāo)準(zhǔn)的德國Pfeiffer原廠測試設(shè)備及調(diào)整工具和德國Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)工程師，多年來致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機、保養(yǎng)等，具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務(wù)意識，并獲得原廠*維修資質(zhì)證書。利用 Pfeiffer 進口檢測設(shè)備對維修后的產(chǎn)品做*性能測試。另外公司還代理美國Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源，HVA 高真空閥門。

　　公司一直堅持品質(zhì)*、信譽*的原則，為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過了美國UL安全認(rèn)證、ISO9001-2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001-1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本，不斷開拓進取的精神，為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團化發(fā)展。

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氦質(zhì)譜檢漏儀,分子泵,原子力顯微鏡,高低溫測試機,離子源,真空閥門

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上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston™ 專為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計, 作為一個強大的平臺, Aston™ 可以取代多種傳統(tǒng)工具

Aston™ 質(zhì)譜分析儀 CVD 典型應(yīng)用產(chǎn)品信息

Aston™ 質(zhì)譜分析儀 CVD 典型應(yīng)用: Dry pump 干泵排氣在線監(jiān)測,診斷

Atonarp 質(zhì)譜分析儀 Aston™ 半導(dǎo)體 CVD / ALD 應(yīng)用
上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston™ 專為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計, 作為一個強大的平臺, Aston™ 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供半導(dǎo)體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測分析, 實現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷并在一系列應(yīng)用中提供的控制水平, 適用于光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.

Aston™ 質(zhì)譜分析儀耐受腐蝕性氣體和氣化污染物冷凝液, 能夠在半導(dǎo)體生產(chǎn)遇到的惡劣工況下可靠運行, 與傳統(tǒng)質(zhì)量分析儀相比, 使用 Aston™ 的維修間隔更長. 它包括自清潔功能, 可消除由于某些工藝中存在的冷凝物沉積而導(dǎo)致的污垢積累.

Aston™ 質(zhì)譜分析儀 CVD 典型應(yīng)用: Dry pump 干泵排氣在線監(jiān)測,診斷
在惡劣的 CVD 環(huán)境中, Aston™ 利用可操作的數(shù)據(jù)預(yù)測和預(yù)防因 PV-CVD 干泵引起的災(zāi)難性故障, 能夠?qū)ζ茐男愿g或沉積進行預(yù)測建模, 優(yōu)化氮氣吹掃成本.
適用場景: 多個腔室連接到1個干泵, 高濃度的電介質(zhì)會導(dǎo)致災(zāi)難性的泵故障 (一次損失 10-100 片的晶圓)

Aston CVD 典型應(yīng)用: Dry pump 干泵排氣在線監(jiān)測,診斷

通過使用上海伯東 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston™ 可以提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率, 此款質(zhì)譜儀可以在新工藝腔室的組裝過程中進行安裝, 也可將其加裝到已運行的現(xiàn)有腔室, 可在短時間內(nèi)實現(xiàn)晶圓更高產(chǎn)量!