Hakuto 離子蝕刻機(jī) IBE 技術(shù)參數(shù):
Hakuto 離子蝕刻機(jī) IBE 技術(shù)規(guī)格:
型號(hào) | 離子蝕刻機(jī) 7.5IBE | 離子蝕刻機(jī) 10IBE | 離子蝕刻機(jī) 20IBE-C | 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J |
適用范圍 | 適用于科研院所,實(shí)驗(yàn)室研究 | 適合小規(guī)模量產(chǎn)使用和實(shí)驗(yàn)室研究 | 適合中等規(guī)模量產(chǎn)使用的離子刻蝕機(jī) | 適合大規(guī)模量產(chǎn)使用的離子刻蝕機(jī) |
基片尺寸 | Φ4 X 1片或 | Φ8 X 1片 | Φ3 inch X 8片 | Φ4 inch X 12片 |
離子源 | 8cm 或 10cm | 10cm 考夫曼離子源 | 20cm 考夫曼離子源 | 20cm 考夫曼離子源 |