美國(guó) KRI 霍爾離子源 eH 2000 產(chǎn)品特性:
伯東 KRI 霍爾離子源 eH 2000 特性:
1.水冷 - 與 KRI 霍爾離子源 eh 1000 對(duì)比, 提供更高的離子輸出電流
2.可拆卸陽(yáng)極組件 - 易于維護(hù); 維護(hù)時(shí), 限度地減少停機(jī)時(shí)間; 即插即用備用陽(yáng)極
3.寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率
4.多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng); 安裝方便
5.高效的等離子轉(zhuǎn)換和穩(wěn)定的功率控制