一、主要參數(shù)
1. 外形尺寸 2800L×2200W×2100H（mm）
2. 花籃規(guī)格 100片
3. 硅片尺寸 156mm
4. 硅片厚度 150~200um
5. 適用硅片 砂漿線（單晶硅、多晶硅）、金剛線（單晶硅、多晶硅）。
6. 發(fā)片效率 7000片/小時（未包含換盒及上料時間）
7. 碎片率 ≤0.2% （除硅片自身原因）
8. 控制系統(tǒng) PLC可編程控制器，交流伺服系統(tǒng)
9.照像系統(tǒng) 檢測碎片和疊片并自動分選
10.氣壓 0.5~0.55Mpa 干燥氣體
11.氣源流量 進氣管口徑≥10mm
12.電源 AC220V（單相三線）、50HZ
13.設備功率 3.0KW
二．特點介紹
1. 硅片帶離原理：
我們摒棄常規(guī)直接吸取硅片方式而是通過吸水（硅片和輸送帶始終有一定的間距），使得分離后的硅片會順著水流方向靠向輸送帶無接觸式帶離，對硅片無任何損傷。同時該技術已為超?。ǎ?/font>140mm）的硅片使用全自動插片機奠定了基礎；
分片機構可對任何狀態(tài)的硅片進行均勻分離；
以上二項技術南亞自行研發(fā)，并已申請二項發(fā)明。
2.硅片的帶片速度取決于輸送帶的轉速，非開關模式的運行模式連續(xù)又平穩(wěn)；轉速根據(jù)工況設定（通常分片速度為7000片/小時）；
3.帶片/上料部分結構簡易合理；水下幾乎無運動部件，極大地減少使用過程中對設備的維護保養(yǎng)工作；
4.硅片上料盒可在前道工序脫膠后直接裝入硅片，減少周轉環(huán)節(jié)，方便操作人員實現(xiàn)一人多機工作；
5．異常硅片經(jīng)視覺系統(tǒng)判斷后采用硅片分選機原理，對異常硅片識別后自動分離；
6.為避免水路堵塞，水箱帶過濾功能，水路帶反沖功能。
三．控制系統(tǒng)
1. 采用三菱可編程控制器，功能齊全運行可靠；
2. 運行模式和程序參數(shù)均可在觸摸屏上設定 ；
3. 配置三菱交流伺服系統(tǒng)進行高精度定位；
4. OMRON高靈敏度傳感器監(jiān)控，實現(xiàn)設備完備的系統(tǒng)運行保障；
5. 動態(tài)日志管理；
6. 故障監(jiān)控、診斷、報警及設備保養(yǎng)需求的自動生成。
四．視覺系統(tǒng)
1. 德國堡盟（Baumer）視覺系統(tǒng)對輸送過程中異常硅片進行視覺判斷?；谳喞墓ぷ髂Ｊ?，360°目標識別功能確保全面、可靠的特征檢查
2. 硅片異常的范圍（精度）用戶可根據(jù)實際需要自行設定；
3. 采用紅外光源，減小外部光源對檢測結果的影響；
4. 支持IE瀏覽器遠程查看
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