用途
精確度:± 1%FS
響應(yīng)時間:1~2seconds
重復(fù)性:< ±0.2% Rd
量程比:1:50(數(shù)字模式為:1:187.5)
泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar L/s He
電源:+15~24VDC@320mA
使用溫度:-10~70 ℃
輸出:4~20mA and RS-232
氣路
整個系統(tǒng)氣路均采用防腐防吸附的316L不銹鋼管或者聚四氟乙烯管,內(nèi)表面光滑
3.計算機及系統(tǒng)軟件
1)配氣系統(tǒng)通過觸摸屏或者計算機操作,計算機需要另選配氣軟件。
2)四組份配氣軟件
配氣系統(tǒng)根據(jù)要求,可以設(shè)置鋼瓶和對應(yīng)的端口。并可以通過流量模式和濃度模式配氣。通過軟件自動計算,氣體質(zhì)量流量控制器自動調(diào)節(jié)控制氣體流量,以實現(xiàn)氣體配比濃度要求。