?Tru-Flo 質(zhì)量流量檢測器是一個緊湊型的診斷儀器。它在已知的腔體體積和溫度的條件下,測量上升的壓力來確定流量。
?HA-MFV 高精度質(zhì)量流量校驗器是為在工藝設(shè)備上校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器而設(shè)計的。其精度可達(dá)讀值的1%,并可以校驗真實的工藝氣體。HA-MFV的精度有非常顯著地提高。HA-MFV對其延伸部分體積(從MFC到HA-MFV)及其變化都不敏感
?Tru-Flo 質(zhì)量流量檢測器是一個緊湊型的診斷儀器。它在已知的腔體體積和溫度的條件下,測量上升的壓力來確定流量。
?HA-MFV 高精度質(zhì)量流量校驗器是為在工藝設(shè)備上校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器而設(shè)計的。其精度可達(dá)讀值的1%,并可以校驗真實的工藝氣體。HA-MFV的精度有非常顯著地提高。HA-MFV對其延伸部分體積(從MFC到HA-MFV)及其變化都不敏感
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