操作簡單,方便可靠
在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
優(yōu)化工藝過程參數(shù),提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量
對真空系統(tǒng)檢漏
減少停機時間,提高流片量
價格低廉,極為優(yōu)異的性價比
濺射工藝在線質(zhì)譜分析儀
SPM-MC濺射工藝在線質(zhì)譜分析儀是專為鍍膜生產(chǎn)等工業(yè)應(yīng)用開發(fā)在線濺射工藝四極質(zhì)譜分析儀。分析室采用超高真空金屬密封和無油超高真空分子泵抽氣系統(tǒng),真空系統(tǒng)控制采用單按鈕式,全量程自動監(jiān)測并開啟四極質(zhì)譜。取樣系統(tǒng)采用不銹鋼波紋管及手動閥門,直接接入工藝真空室采樣。分析器采用抗氧化敷釷銥絲雙燈絲和法拉第接收杯四極質(zhì)譜,通過RS232接入筆記本電腦,由專用的控制軟件分析,完成對濺射工藝真空室的分壓測量和成份分析:掃描全譜,趨勢分析,檢漏等。
規(guī)格:
測量氣體范圍
XT100(M) 1到100 amu
XT200(M) 1到200 amu
XT300(M) 1到300 amu
檢測類型 法拉第杯(FC)或電子倍增器(EM)
靈敏度(A/mbar) 5×10-4torr,法拉第杯,氮28, 10%峰高
分辨率 1 amu ,10%峰高
最小可檢分壓強 10-11 torr或10-14 torr(電子倍增
器),氮28,10%峰高
工作范圍 10-4 torr到超高真空
工作環(huán)境溫度 40°C
烘烤溫度 300°C(不包括CCU)
通訊端口 RS-232C,115,200 Baud
軟件運行環(huán)境 Windows® 2000或XP