URE-2000/35A 型紫外單面光刻機
1.技術(shù)特征——非常適合工廠(效率高,操作傻瓜型,全自動)和高校教學(xué)科研(可靠性好,演示方便)采用自動找平,具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能,自動分離對準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙,采用 350W 進(jìn)口(德國)直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制,性能非常可靠,自動化程度很高,操作十分方便。
2.技術(shù)參數(shù)
。曝光面積:6 英寸
。曝光波長:365nm
。分辨力:1-1.2μm(膠厚 2 μm的正膠)
。對準(zhǔn)精度:±0.8μm
。掩模樣片整體運動范圍:X:15mm; Y:15mm
。掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
。樣片尺寸:直徑 ±15mm-- ±150mm(各種不規(guī)則片) 21厚度 0.1mm--6mm
。曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量
。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能
。照明不均勻性: 6%(±150mm 范圍)
。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡:既可通過目鏡目視對準(zhǔn),也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn),光學(xué)合像,光學(xué)倍數(shù) 400 倍,光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對:10 倍、16 倍、20 倍
。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口
。掩模相對于樣片運動行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6º
。焦厚:350μm(SU8 膠,用戶提供檢測條件)
。光源平行性:3.5 º
。曝光能量密度:>15mW/cm2,照明面溫度<35 º
。單層曝光一鍵完成
。采用球氣浮自動找平
。汞燈功率:350W(直流,進(jìn)口)
3.外形尺寸:1200mm(長)x900mm(寬) x1750mm(高)
4.配置
(1)曝光頭
。冷光橢球鏡
。350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組(79 個透鏡)、i 線濾光片、場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
(2)對準(zhǔn)工件臺
。掩模樣片整體運動臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉(zhuǎn)動臺
。樣片調(diào)平機構(gòu),三點自動完成22
。樣片調(diào)焦機構(gòu),電機自動調(diào)
。基片抽拉式上下機構(gòu)
。承片臺 4 個:?15mm 、3 英寸、4 英寸、6 英寸(可按用戶要求增減)
。掩模夾 4 個:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸(可按用戶要求增減)
(3)對準(zhǔn)顯微鏡
。光源(配備品 2 只)、 電源
。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
。目鏡 3 對(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 個)
。物鏡 3 對(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 個)
。CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng),21 寸液晶顯示器
(4)電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
。單片機控制系統(tǒng)
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(5)氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀表
(6)其他附件
。真空泵一臺
??諌簷C一臺
。管道