URE-2000S/25A 型紫外雙面光刻機(jī)
技術(shù)參數(shù)
。曝光面積:6 英寸
。曝光波長(zhǎng):365nm:
。功率密度:>25mW/cm2
。分辨力:1 μm
。正面雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡:
既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn),也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn),光學(xué)合像,光學(xué)倍數(shù) 400 倍,光學(xué)+電子放大 800倍,物鏡三對(duì):4 倍、10 倍、20 倍;目鏡三對(duì):4 倍、10 倍、20 倍
。正面立式雙 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),光學(xué)放大,0.65-4.5 倍;具備側(cè)向光源
。底面面對(duì)準(zhǔn):采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像,物鏡軸距范圍 10mm-148mm
。對(duì)準(zhǔn)精度:±2 μm(雙面,片厚 0.8mm),±0.8 μm(單面)
。掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
。樣片尺寸::2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸,厚度 0.1mm--2mm(雙面)
。曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式)和定劑量
。照明不均勻性: 2.5%( Ф100mm 范圍),4%( Ф150 mm 范圍)13
。掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞燈功率:350W(直流,進(jìn)口)
。調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)
。數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口
。膠厚:350 μm(SU8 膠,用戶(hù)提供檢測(cè)條件)
。光源平行性:3.5°
外形尺寸:1300mm(長(zhǎng))x900mm(寬) x1800mm(高)
配置
(1)曝光頭
。冷光橢球鏡
。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組(79 個(gè)透鏡)、i 線濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
(2)對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成
。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),氣缸自動(dòng)調(diào)
。承片臺(tái) 4 個(gè)(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸)
。掩模夾 4 個(gè)(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸)
。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
(3)雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡(帶 CCD,目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè))
。光源、電源
。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
。目鏡 3 對(duì)(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 個(gè))
。物鏡 3 對(duì)(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 個(gè))
。立式雙 CCD 光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) 14
。側(cè)向?qū)?zhǔn)光源
(4)底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
。光源、電源
。成像光學(xué)系統(tǒng)
。數(shù)據(jù)采集卡
。CCD
(5)電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
。單片機(jī)控制系統(tǒng)
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。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)(21 英寸寬屏液晶顯示器)
(6)氣動(dòng)系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動(dòng)
。氣動(dòng)儀表
(7)其他附件
。真空泵一臺(tái)(無(wú)油泵)
??諌簷C(jī)一臺(tái) (音靜泵)
。管道