URE-2000S/25S 型雙面光刻機(jī)
技術(shù)參數(shù)
。曝光面積：4 英寸（或 6 英寸）
。曝光波長(zhǎng)：365nm： 40mW/cm，405nm：20-40mW/cm2
。分辨力：1 μm
。正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍
。底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
。對(duì)準(zhǔn)精度：±2.5μm（雙面，片厚 0.8mm）,± 0.6μm（單面）
。掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）
。樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置） ，厚度 0.1mm--2mm
。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量
。照明不均勻性： 3%（ Ф100mm 范圍），5%（ Ф150 mm 范圍）
。掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）
。膠厚：350 μm （SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）
。光源平行性：3.5°
外形尺寸：1300mm（長(zhǎng)）x1000mm(寬) x1800mm（高）
配置
（1）曝光頭（兩套）
。冷光橢球鏡
。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成
。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)
。承片臺(tái)：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置）
。掩模夾：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）
（3）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）
。光源、電源
。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）26
。XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
。光源、電源
。成像光學(xué)系統(tǒng)
。數(shù)據(jù)采集卡
。CCD
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
。單片機(jī)控制系統(tǒng)
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。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動(dòng)系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動(dòng)
。氣動(dòng)儀表
（7）其他附件
。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）
?？諌簷C(jī)一臺(tái) （音靜泵）
。管道
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