產(chǎn)品信息:
二維材料在集成電路上具有非常好的應(yīng)用前景。二維材料多是在高溫下、而且一定氣氛下合成,襯底的選擇非常有限,需要襯底能夠耐高溫、耐化學(xué)腐蝕。但是這些生長(zhǎng)襯底經(jīng)常不能滿足后期器件的制備以及性能調(diào)控,因此,將納米尺度的二維材料完整、無(wú)損地從生長(zhǎng)襯底上轉(zhuǎn)移到另一個(gè)襯底上對(duì)于拓展其應(yīng)用、組裝更復(fù)雜光電子學(xué)元器件是一件非常重要而且有挑戰(zhàn)性的工作。
CPMT10系列低維材料轉(zhuǎn)移系統(tǒng)是我司根據(jù)客戶應(yīng)用自主研發(fā)得低維材料異質(zhì)結(jié)器件轉(zhuǎn)移產(chǎn)品,適用于石墨烯,硫化鉬,黑磷等單層材料精確定點(diǎn)轉(zhuǎn)移,以及多層范德華異質(zhì)結(jié)的制備,實(shí)現(xiàn)了低維材料轉(zhuǎn)移的可視化操作;轉(zhuǎn)移系統(tǒng)由顯微系統(tǒng)、三軸轉(zhuǎn)移臺(tái)、四軸樣品臺(tái)等組成,目標(biāo)襯底載物臺(tái)可面內(nèi)大角度旋轉(zhuǎn),是研究異質(zhì)結(jié)特性、空間反演對(duì)稱(chēng)性破缺、以及二維材料不同堆疊方式影響的有力工具。
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆基座采用高穩(wěn)定性隔振平臺(tái),提高系統(tǒng)穩(wěn)定性,保證材料轉(zhuǎn)移高精度運(yùn)行
◆襯底載物臺(tái)采用XYZR四軸移動(dòng)臺(tái),位移精度3微米,XY行程13mm,Z軸行程10mm,繞 z 軸手動(dòng)調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)±90°
◆載玻片移動(dòng)平臺(tái)采用XYZ三軸移動(dòng)臺(tái),位移精度3微米,XY行程25mm,Z軸行程10mm
◆單筒顯微鏡采用進(jìn)口鏡筒,放大倍數(shù)高達(dá)1000倍,2000W像素CCD,可以連接電腦拍照錄像,搭配12寸高清顯示器,實(shí)時(shí)探測(cè)樣品
◆產(chǎn)品可選配模塊:顯微鏡移動(dòng)模塊、樣品真空吸附模塊、樣品高溫模塊、樣品低溫模塊、光纖光源導(dǎo)入模塊、氣浮隔振平臺(tái)、光學(xué)屏蔽罩
產(chǎn)品應(yīng)用:二維材料轉(zhuǎn)移