產(chǎn)品信息:
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。
LZH系列樣品拉伸探針臺是創(chuàng)譜儀器根據(jù)客戶應(yīng)用自主研發(fā)的一款對各種樣品進(jìn)行拉伸、壓縮、彎曲、蠕變后同步配合源表進(jìn)行電學(xué)實(shí)驗(yàn)的測試臺,此款探針臺包含光學(xué)底座、探針調(diào)整座、探針龍門架、多維度樣品位移系統(tǒng)、拉伸實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)、顯微鏡系統(tǒng)等組成,模塊化設(shè)計(jì),可以根據(jù)客戶應(yīng)用增減功能,多被用于材料研究。
產(chǎn)品特點(diǎn):
★可測試材料尺寸:長邊40-90mm,短邊<40mm
★拉伸行程大,平行度高,可以同時(shí)雙向拉伸
★同步測試漏電流精度:100fA,可達(dá)10fA
★精密絲杠/燕尾傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng),精密位移,無回程差設(shè)計(jì)
★應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用
★1微米以上電極/PAD使用
★顯微鏡可以連接電腦進(jìn)行拍照錄像,可以通過應(yīng)力應(yīng)變對樣品變化過程進(jìn)行細(xì)節(jié)分析
★模塊化設(shè)計(jì),可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊
產(chǎn)品應(yīng)用:
對各種材料的拉伸、壓縮、彎曲、蠕變情況下的IV等電學(xué)分析測試
技術(shù)參數(shù)選型:
規(guī)格/參數(shù) | ||||
型號 | LZH-4 | |||
外形尺寸(LWH) | 450mm×600mm×450mm | |||
電力需求 | 220VC,50-60HZ | |||
拉伸樣品臺 | 尺寸 | 230mm×230mm | ||
行程 | 底部三維XYZ行程50mm-50mm-60mm;拉伸雙軸行程各50mm | |||
移動(dòng)精度 | 整體10μm | |||
樣品尺寸 | 長邊40-90mm,短邊<40mm | |||
定制模塊 | 可以根據(jù)客戶樣品定制不同拉伸臺 | |||
探針調(diào)整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | ||
機(jī)械精度 | 1μm | |||
漏電精度 | 100fA/10fA | |||
安裝方式 | 可調(diào)磁力吸附/真空吸附 | |||
接口形式 | 三同軸(Triax) | |||
光學(xué)成像 | 放大倍數(shù) | 7-200倍(可升級到720倍) | ||
CCD像素 | 2000W | |||
中心距離 | 140mm,升降范圍270mm,總高度350mm | |||
顯示器 | 12寸顯示器,將3-17mm的樣品放大到整個(gè)屏幕(可升級大尺寸顯微鏡) | |||
附加功能 | 可以連接電腦拍照錄像 | |||
選型附件 | 隔振支架 | 導(dǎo)入光源支架 | 波長單色可調(diào)光纖光源(測光電流) | |
顯微鏡調(diào)節(jié)手動(dòng)/電動(dòng)調(diào)節(jié)裝置 | ||||
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺,以達(dá)到更好的使用效果和性價(jià)比 |