一、 URE-2000S/A8 型雙面光刻機
1.主要技術(shù)參數(shù)
曝光面積：8 英寸
曝光波長：365nm： 15mW/cm
405nm：15-30mW/cm2
分辨力：1mm
對準精度：±2 mm（雙面,片厚 0.8mm）
±0.8mm（單面）
掩模尺寸：4 英寸、5 英寸，7 英寸，9 英寸
樣片尺寸：3 英寸、4 英寸，6 英寸，8 英寸
厚度 0.1mm—2mm
曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)l
數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)最
大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-200mm
照明不均勻性：5%（Ф200mm 范圍）
掩模相對于樣片運動行程：
X：±5mm; Y：±5mm; q：±6 度
膠厚：500 mm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
光源平行性：2°
具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)
汞燈功率：1000W（直流，進口）
2．外形尺寸：1400mm（長）´1200mm(寬) ´2000mm（高）
3．設(shè)備構(gòu)成與配置明細
設(shè)備主要由均勻照明曝光系統(tǒng)（曝光頭）、對準工件臺系統(tǒng)、雙目雙視場顯微鏡系統(tǒng)、底面 CCD 對準系統(tǒng)、電控
系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)及輔助配套設(shè)備構(gòu)成。
（1）曝光頭系統(tǒng)包括：
。冷光橢球鏡
。1000 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風(fēng)扇.
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 余個透鏡）、i 線濾光片、
場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺系統(tǒng)包括：
。掩模樣片相對運動臺（XY）
。轉(zhuǎn)動臺（θ）
。樣片自動調(diào)平機構(gòu)
。樣片調(diào)焦機構(gòu)l
。承片臺 4 個 （3 英寸、4 英寸，6 英寸，8 英寸）
。掩模架 4 個 （4 英寸、5 英寸，7 英寸，9 英寸）
。掩模翻轉(zhuǎn)及旋轉(zhuǎn)機構(gòu)
（3）對準顯微鏡（可選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）系統(tǒng)包括：
。LED 照明及配套電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)
XYZ 底面對準工件臺（兩套）
（4）底面 CCD 對準系統(tǒng)
。LED 照明及配套電源
。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)(2 套)
。數(shù)據(jù)采集卡
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)
。單片機控制系統(tǒng)
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。計算機系統(tǒng)（22 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀表
（7）其他附件（選配）
。真空泵一臺（無油*型）
?？諌簷C一臺（無油*型）
。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)
。管道
二、 URE-2000S/A 型雙面光刻機
1.主要技術(shù)參數(shù)
曝光面積：6 英寸
曝光波長：365nm： 20mW/cm
405nm：20-35mW/cm2
分辨力：1mm
對準精度：±2mm（雙面,片厚 0.8mm）
±0.8mm（單面）
掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸，7 英寸
樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸，6 英寸
厚度 0.1mm—6mm
曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口7
正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)最
大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）
3%（Ф150mm 范圍）
掩模相對于樣片運動行程：
X：±5mm; Y：±5mm; q：±6 度
膠厚：500 mm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
光源平行性：2°
具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)
汞燈功率：1000W（直流，進口）
2．外形尺寸：1400mm（長）´1200mm(寬) ´2000mm（高）
3．設(shè)備構(gòu)成與配置明細
設(shè)備主要由均勻照明曝光系統(tǒng)（曝光頭）、對準工件臺系統(tǒng)、雙目雙視場顯微鏡系統(tǒng)、底面 CCD 對準系統(tǒng)、電控
系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)及輔助配套設(shè)備構(gòu)成。
（1）曝光頭系統(tǒng)包括：
。冷光橢球鏡
。1000 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風(fēng)扇.
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 余個透鏡）、i 線濾光片、
場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺系統(tǒng)包括：
。掩模樣片相對運動臺（XY）
。轉(zhuǎn)動臺樣片自動調(diào)平機構(gòu)
。樣片調(diào)焦機構(gòu)
。承片臺 4 個 （2 英寸、3 英寸、4 英寸，6 英寸）8
。掩模架 4 個 （3 英寸、4 英寸、5 英寸，7 英寸）
。掩模翻轉(zhuǎn)及旋轉(zhuǎn)機構(gòu)
（3）對準顯微鏡（可選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）系統(tǒng)包括：
。LED 照明及配套電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)
。XYZ 底面對準工件臺（兩套）
（4）底面 CCD 對準系統(tǒng)
。LED 照明及配套電源
。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)(2 套)
。數(shù)據(jù)采集卡
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)
。單片機控制系統(tǒng)
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。計算機系統(tǒng)（22 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀表
（7）其他附件（選配）
。真空泵一臺（無油*型）
?？諌簷C一臺（無油*型）
。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)
。管道
（8）技術(shù)資料
。設(shè)備使用及維護說明書
三、 URE-2000S/B 型雙面光刻機
1．技術(shù)參數(shù)
曝光面積：4 英寸
曝光波長：365nm： 25mW/cm
405nm：20-40mW/cm2
分辨力：1mm
對準精度：±2mm（雙面,片厚 0.8mm）
±0.8mm（單面）
掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸
樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸
厚度 0.1mm--6mm
曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)最
大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍10
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）
掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度
膠厚：600 mm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
光源平行性：2°
具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)
汞燈功率：1000W（直流，進口）
2．外形尺寸：1400mm（長）´1200mm(寬) ´2000mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。1000 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)；
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個透鏡）、i 線濾光片、場
鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉(zhuǎn)動臺
。樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成
。樣片調(diào)焦機構(gòu)
。承片臺 3 個 （3 英寸、4 英寸，5 英寸）
。掩模夾 3 個 （2 英寸、3 英寸、4 英寸）
。掩模抽拉式上下機構(gòu)
（3）對準顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）
。光源（配備品 2 只）、電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）11
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD 光學(xué)系統(tǒng)
（4）底面 CCD 對準系統(tǒng)
。光源（配備品 2 只）、 電源
。成像光學(xué)系統(tǒng)(2 套)
。雙通道數(shù)據(jù)采集卡
。CCD（兩套）
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)
。單片機控制系統(tǒng)
?？刂乒褡?/span>
。計算機系統(tǒng)（監(jiān)視器配 21 英寸寬屏液晶）
（6）氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀表
（7）其他附件
。無油*真空泵一臺
。無油*空壓機一臺
。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)
。管道
四、 URE-2000S/25A 型雙面光刻機
1．技術(shù)參數(shù)
曝光面積：6 英寸
曝光波長：365nm：
功率密度：＞25mW/cm2
分辨力：1mm
正面雙目雙視場對準顯微鏡：
既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800
倍，物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍；目鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
正面立式雙 CCD 對準系統(tǒng)，光學(xué)放大，0.65-4.5 倍；具備側(cè)向光源
底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
對準精度：±2mm（雙面，片厚 0.8mm）
±0.8mm（單面）
掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
樣片尺寸：：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸
厚度 0.1mm--2mm(雙面)
曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）
4%（Ф150 mm 范圍）13
掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度
汞燈功率：350W（直流，進口）
調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
膠厚：350 mm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
光源平行性：3.5°
2．外形尺寸：1300mm（長）´900mm(寬) ´1800mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。350 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡
1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉(zhuǎn)動臺
。樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成
。樣片調(diào)焦機構(gòu)，氣缸自動調(diào)
。承片臺 4 個（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）
。掩模夾 4 個（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）
。掩模抽拉式上下機構(gòu)
（3）雙目雙視場對準顯微鏡（帶 CCD，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）
。光源、電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。立式雙 CCD 光學(xué)對準系統(tǒng) 14
。側(cè)向?qū)使庠?/span>
（4）底面 CCD 對準系統(tǒng)
。光源、電源
。成像光學(xué)系統(tǒng)
。數(shù)據(jù)采集卡
。CCD
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
。單片機控制系統(tǒng)
。控制柜桌
。計算機系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀表
（7）其他附件
。真空泵一臺（無油泵）
?？諌簷C一臺 （音靜泵）
。管道
五、 URE-2000S/25 型雙面光刻機
1．技術(shù)參數(shù)
曝光面積：4 英寸
曝光波長：365nm： 40mW/cm
405nm：20-45mW/cm2
分辨力：1mm
正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)最
大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
對準精度：±2mm（雙面，片厚 0.8mm）
±0.6mm（單面）
掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸
樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸
厚度 0.1mm--2mm(雙面)
曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
照明不均勻性： 3%（Ф100mm 范圍）16
掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度
汞燈功率：350W（直流，進口）
調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
膠厚：350 mm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
光源平行性：3.5°
2．外形尺寸：1300mm（長）´900mm(寬) ´1800mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。350 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡
1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉(zhuǎn)動臺
。樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成
。樣片調(diào)焦機構(gòu)，氣缸自動調(diào)
。承片臺 3 個（2 英寸、3 英寸、4 英寸）
。掩模夾 3 個（3 英寸、4 英寸、5 英寸）
。掩模抽拉式上下機構(gòu)
（3）雙目雙視場對準顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）
。光源、電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）17
。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）
。XYZ 底面對準工件臺
（4）底面 CCD 對準系統(tǒng)
。光源、電源
。成像光學(xué)系統(tǒng)
。數(shù)據(jù)采集卡
。CCD
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
。單片機控制系統(tǒng)
?？刂乒褡?/span>
。計算機系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀表
（7）其他附件
。真空泵一臺（無油泵）
?？諌簷C一臺 （音靜泵）
。管道
六、 URE-2000S/35L（A）型雙面光刻機
1．技術(shù)參數(shù)
曝光面積：6 英寸
光 源：紫外 LED
曝光波長：365nm： 10-25mW/cm
分辨力：1mm
正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)最
大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
對準精度：±2mm（雙面，片厚 0.8mm）
±0.6mm（單面）
掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸
厚度 0.1mm--2mm ，
曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
照明不均勻性：2.5%（Ф100mm 范圍）19
3%（ f150 mm 范圍）
掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度
調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
膠厚：400 mm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
光源平行性：2°
2．外形尺寸：1300mm（長）´900mm(寬) ´1800mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。LED 進口光源
。冷卻模塊
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡
1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2、能力調(diào)節(jié)器、微光學(xué)整形元件
（2）對準工件臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉(zhuǎn)動臺
。樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成
。樣片調(diào)焦機構(gòu)，氣缸自動調(diào)
。承片臺 4 個（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）
。掩模夾 4 個（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）
。掩模抽拉式上下機構(gòu)
（3）雙目雙視場對準顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）
。光源、電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）20
。XYZ 底面對準工件臺
（4）底面 CCD 對準系統(tǒng)
。光源、電源
。成像光學(xué)系統(tǒng)
。數(shù)據(jù)采集卡
。CCD
（5）電控系統(tǒng)
。單片機控制系統(tǒng)
?？刂乒褡?/span>
。計算機系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀表
（7）其他附件
。真空泵一臺（無油泵）
?？諌簷C一臺 （音靜泵）
。管道
七、 URE-2000S/35L（B）型雙面光刻機
1．技術(shù)參數(shù)
曝光面積：4 英寸
光 源：紫外 LED
曝光波長：365nm：20-40mW/cm2
分辨力：1mm
正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)最
大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
對準精度：±2 mm（雙面，片厚 0.8mm）
±0.6mm（單面）
掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸
樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸
厚度 0.1mm--2mm(雙面)
曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）22
掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度
調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
膠厚：400 mm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
光源平行性：2°
2．外形尺寸：1300mm（長）´900mm(寬) ´1800mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。LED 進口光源
。冷卻模塊
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡
1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2、能力調(diào)節(jié)器、微光學(xué)整形元件
（2）對準工件臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉(zhuǎn)動臺
。樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成
。樣片調(diào)焦機構(gòu)，氣缸自動調(diào)
。承片臺 3 個（2 英寸、3 英寸、4 英寸）
。掩模夾 3 個（3 英寸、4 英寸、5 英寸）
。掩模抽拉式上下機構(gòu)
（3）雙目雙視場對準顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）
。光源、電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）
。XYZ 底面對準工件臺23
（4）底面 CCD 對準系統(tǒng)
。光源、電源
。成像光學(xué)系統(tǒng)
。數(shù)據(jù)采集卡
。CCD
（5）電控系統(tǒng)
。單片機控制系統(tǒng)
?？刂乒褡?/span>
。計算機系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀表
（7）其他附件
。真空泵一臺（無油泵）
?？諌簷C一臺 （音靜泵）
。管道
（8）技術(shù)資料
。使用維修說明書
。顯微鏡使用說明書
八、 URE-2000S/25S 型雙面光刻機
1．技術(shù)參數(shù)
曝光面積：4 英寸（或 6 英寸）
曝光波長：365nm： 40mW/cm
405nm：20-40mW/cm2
分辨力：1mm
正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)最
大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
對準精度：±2.5mm（雙面，片厚 0.8mm）
±0.6mm（單面）
掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）
樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置） 25
厚度 0.1mm--2mm
曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
照明不均勻性： 3%（Ф100mm 范圍）
5%（ f150 mm 范圍）
掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度
汞燈功率：350W（直流，進口）
膠厚：350 mm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
光源平行性：3.5°
2．外形尺寸：1300mm（長）´1000mm(寬) ´1800mm（高）
3．配置
（1）曝光頭（兩套）
。冷光橢球鏡
。350 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡
1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉(zhuǎn)動臺
。樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成
。樣片調(diào)焦機構(gòu)，氣缸自動調(diào)
。承片臺：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置）
。掩模夾：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）
（3）雙目雙視場對準顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）
。光源、電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）26
。XYZ 底面對準工件臺
（4）底面 CCD 對準系統(tǒng)
。光源、電源
。成像光學(xué)系統(tǒng)
。數(shù)據(jù)采集卡
。CCD
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
。單片機控制系統(tǒng)
?？刂乒褡?/span>
。計算機系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀表
（7）其他附件
。真空泵一臺（無油泵）
?？諌簷C一臺 （音靜泵）
。管道
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