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JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市藍星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2021/7/16 20:25:16
  • 訪問次數(shù)286
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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深圳市藍星宇電子科技有限公司,經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀,可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù),研發(fā)設(shè)計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準(zhǔn)分子清洗機,等離子清洗機/去膠機等科研以及生產(chǎn)設(shè)備,擁有自主品牌及注冊商標(biāo)。 同時我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價比產(chǎn)品, 始終堅持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠信的企業(yè)文化,為廣大中國及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納,光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構(gòu)等。 半導(dǎo)體/微納,光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有: 德國ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機,電子束光刻機, 激光直寫光刻機,紫外光刻機,微納3D打印機,德國Sentech刻蝕機/鍍膜機及原子沉積,英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機,微波離子沉積機MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機,電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機/UV清洗燈,美國Jelight紫外清洗機/紫外燈管,德國Diener等離子清洗機等*技術(shù)產(chǎn)品。 生命科學(xué)/生物醫(yī)療 產(chǎn)品主要有:PCR儀,核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測儀,電子顯微鏡,紫外設(shè)備,光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實驗耗材等。 并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),為高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。
電子顯微鏡
JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡,實現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進一步提升,采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。
JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡 產(chǎn)品信息

JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

· *的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進,實現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴展性。

產(chǎn)品規(guī)格:

產(chǎn)品特點:

*的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進,實現(xiàn)了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的進一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。

此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴展性。主要特點如下:

◇ 半浸沒式物鏡

半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強磁場,因而可以獲得超高分辨率。

◇ High Power Optics

High Power Optics 是*的電子光學(xué)系統(tǒng),既實現(xiàn)了高倍率觀察又能進行多種分析。

浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍,可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場發(fā)射電子槍(FEG)的探針電流,光闌角控制鏡(ALC)在探針電流增大時也能保持小束斑,兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強大的High Power Optics 系統(tǒng),從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。

浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍銃

浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合,可以有效地收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子。

光闌角控制鏡(ACL)

光闌角控制鏡(ACL)配置在物鏡的上方,在整個探針電流范圍內(nèi)自動優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此,即使照射樣品的探針電流很大,與傳統(tǒng)方式相比,也能獲得很小的電子束斑。

即使探針電流很大,束斑直徑也很小

長時間分析時穩(wěn)定度也很高

浸沒式消特基場發(fā)射電子槍能獲得穩(wěn)定的電子探針


◇ 柔和電子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式

柔和的電子束模式(GB模式)通過給樣品添加負電壓,從而使電子束在進行高分辨觀察。

由于電子束在樣品中散射區(qū)域減小,就會容易地觀察樣品淺表面的精細結(jié)構(gòu),能減少對熱敏樣品的的損傷,可以直接觀察非導(dǎo)電性樣品。

JSM-7610Plus 在GB模式下(1KV)的分辨率為1.0nm

GB 模式的效果

GB 模式在低電壓下提高分辨率

左圖一般模式,右圖GB模式

增強了的低加速電壓下的分辨率


◇ r-過濾器

新一代 r-過濾器 是由二次電子控制電極,背散射電子控制電極,過濾器電極組合而成的*的能量過濾器。當(dāng)電子束照射樣品時,從樣品表面會釋放出各種能量的電子,新一代r-過濾器 通過組合多個靜電場使電子束保持在透射系同時還對樣品中產(chǎn)生的二次樣品和背散射電子進行選樣和檢測。

新一代 r-過濾器最多能獲得3倍于舊機型的信號量。

新一代 r-過濾器 檢測信號的方法

◇ LABE檢測器(選配件)

LABE(Low Angle BE)檢測器能檢測低角度背散射電子。在低加速電壓下對樣品表面精細的形貌信息,在高加速電壓下對樣品的組分信息都能進行高分辨觀察。

利用LABE 檢測器獲取低角度背散射電子像



◇ 擴展性

能譜儀(EDS)

High Power Optics 能充分發(fā)揮EDS(SDD)檢測器的特長,即使探針電流很大,也不容易飽和。使用低加速電壓,大探針電液能在短時間內(nèi)獲取清晰的面分布圖。下面的圖像顯示了在2分針內(nèi)可以對鎳基板表面上極薄的石墨烯薄膜進行分析。

使用基本型SDD nm2 檢測器也能在短短的30秒鐘內(nèi)測試100nm厚的多層膜截面。

波譜儀(WDS)

由于High Power Optics 在大探針電流時也能提供很小的電子束斑,因此能充分發(fā)揮WDS的特長,使用WDS可以確認用EDS判斷的樣品的濃度差等。

陰極熒光系統(tǒng)(CL)

陰極熒光是電子束照射樣品時產(chǎn)生的發(fā)光現(xiàn)象,從樣品中發(fā)出的光經(jīng)拋物面反射鏡(聚光鏡)聚焦后被檢測出來。

下面的數(shù)據(jù)是金剛石(1KW)的二次電子圖像和用衍射光柵獲得的CL像。用低加速電壓觀察CL像,可以在高分辨率下觀測到金剛石的表面缺陷。

關(guān)鍵詞:電子顯微鏡 過濾器
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