目前，AWL 系列晶圓搬運(yùn)機(jī)擁有AWL046、AWL068兩種機(jī)型，分別可適用于 4/6 英寸晶圓檢測(cè)，6/8 英寸晶圓檢測(cè)，其適應(yīng)范圍廣，且搭配靈活 ，可自由設(shè)置的檢查模式，充分符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作舒適、簡(jiǎn)便。
AWL 系列晶圓檢查系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)
●360°宏觀檢查
AWL 系列晶圓檢查系統(tǒng)具有宏觀檢查手臂，可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查1的360°旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過(guò)操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面傾斜角度≤70°，晶背1傾斜角度≤90°，晶背2傾斜角度≤160°，利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜 角度，*可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。
●人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)
晶圓檢查系統(tǒng)的LCD顯示屏，可為操作者提供更直觀的視覺(jué)體驗(yàn)，可清晰的顯示當(dāng)前檢查項(xiàng)目及次序，調(diào)試參數(shù)一目了然。
晶圓檢查系統(tǒng)的手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可提高操作者的舒適度和工作效率。
晶圓缺陷檢查應(yīng)用案例
AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | AWL046 | AWL068 | |
晶圓尺寸（SEMI 規(guī)格） | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | |
晶圓較小厚度 | 150μm | 180μm | |
型 | 開(kāi)放式片盒（SEMI Stad.25(26)-slot） | ||
片盒數(shù)量 | 1 Port | ||
檢查模式設(shè)置 | 全檢 / 奇數(shù)檢 / 偶數(shù)檢 / 手動(dòng)選擇 | ||
片盒內(nèi)晶圓掃描 | ● | ● | |
晶圓預(yù)定位 | ● | ● | |
晶圓定位 | 非接觸式定位平邊 /V 型槽，支持 0°、90°、180°、270°朝向設(shè)置 | ||
檢查功能 | 微觀檢查 | ● | ● |
晶面宏觀檢查 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 1 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 2 | ● | ● | |
適配顯微鏡 | SOPTOP金相顯微鏡MX68R | ||
載物臺(tái) | 6 英寸四層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位 X、Y 方向同 軸調(diào)節(jié) ；晶圓承片臺(tái)，可 360°旋轉(zhuǎn) ；移動(dòng)行程228mm(X 方 向 )×170mm（Y 方 向 ） 觀 察 范 圍 ： | 8 英寸四層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位 X、Y 方向同 軸調(diào)節(jié) ；晶圓承片臺(tái)，可 360°旋轉(zhuǎn) , 移動(dòng)行程280mm（X 方向）×210mm（Y 方向）觀察范圍 ： | |
電源 | 1P/220V/16A | ||
真空源 | —70KPA | ||
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