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奧林巴斯金相顯微鏡BX53M

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱成貫儀器(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2021/5/20 17:54:31
  • 訪問次數(shù)671
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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Tengrant Inc.(成貫公司)是一家專為提供生命科學(xué)與外科手術(shù)設(shè)備的代理商,并擁有專業(yè)、高效、務(wù)實(shí)的成貫人將把設(shè)計(jì)理念和高性價(jià)比的產(chǎn)品提供給廣大用戶。公司注重夯實(shí)內(nèi)功,秉承著“專業(yè)、誠信”的經(jīng)營理念,致力生命科學(xué)、外科手術(shù)設(shè)備的產(chǎn)品同服務(wù)。我們多年的經(jīng)驗(yàn)同積累,我們的專業(yè)和不斷地學(xué)習(xí),為客戶提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)。“客戶信賴、品牌供貨商是我們企業(yè)追求的目標(biāo),我們也時(shí)刻以此來嚴(yán)格要求自己。代理及經(jīng)營多項(xiàng)產(chǎn)品,期待在關(guān)鍵的時(shí)候?yàn)槟峁┤娴默F(xiàn)場(chǎng)解決方案以及完善的產(chǎn)品和服務(wù)。 企業(yè)目標(biāo)專業(yè)、誠信的產(chǎn)品供應(yīng)商客戶信賴的品牌供應(yīng)商 經(jīng)營理念專業(yè)、誠信、值得信賴 服務(wù)宗旨以合理的價(jià)格、提供完善的服務(wù)和產(chǎn)品以客戶需求為導(dǎo)向,以提高客戶生產(chǎn)效率及質(zhì)量為目標(biāo),不斷引技術(shù)同產(chǎn)品,為客戶帶來更為全面的現(xiàn)場(chǎng)解決方案 我們的核心競(jìng)爭(zhēng)力我們的核心競(jìng)爭(zhēng)力在于:光學(xué)、電子、軟件與機(jī)械工程技術(shù)原廠提供專業(yè)技術(shù)支持和技術(shù)指導(dǎo)網(wǎng)絡(luò)營銷技術(shù)專業(yè)售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)的技術(shù)支持 我們的使命Tengrant Inc.()提供生命科學(xué)與與外科設(shè)備的創(chuàng)新性解決方案——幫助我們的客戶對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量實(shí)現(xiàn)精確的控制同時(shí)不斷優(yōu)化自己的服務(wù)。 我們的愿景1) 我們希望成為一個(gè)生命科學(xué)與外科設(shè)備的可靠供應(yīng)商。2) 我們希望成為一個(gè)專業(yè)而可靠的商業(yè)合作伙伴,以客戶與用戶的需求為宗旨。3) 我們希望創(chuàng)造一個(gè)公平且具有吸引力的工作場(chǎng)所,通過忠誠的員工政策營造一種積極進(jìn)取的工作氛圍。4) 我們希望在中國市場(chǎng)成為一個(gè)快速發(fā)展的新興力量。5) 我們希望通過我們的不懈努力為我們的客戶及我們自己提供實(shí)用、安全的產(chǎn)品。
生物顯微鏡,金相顯微鏡,立體顯微鏡
奧林巴斯金相顯微鏡BX53M
奧林巴斯金相顯微鏡BX53M 產(chǎn)品信息

為工業(yè)和材料學(xué)應(yīng)用而設(shè)計(jì)

奧林巴斯金相顯微鏡BX53M系列采用了模塊化設(shè)計(jì),為廣泛的材料學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了多樣化的解決方案。BX3M增強(qiáng)了與奧林巴斯Stream軟件的集成性,從而為常規(guī)顯微鏡檢查和數(shù)碼成像用戶提供了從觀察到報(bào)告創(chuàng)建的無縫工作流程。

奧林巴斯BX53M金相顯微鏡

 

高級(jí)的顯微觀察 便捷的顯微操作

用戶友好性

· 讓傳統(tǒng)技術(shù)易于操作:簡(jiǎn)單的照明器

· 直觀的顯微鏡控制:視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設(shè)置

· 快速找到焦點(diǎn):對(duì)焦刻度標(biāo)尺

· 一致的照明:智能光強(qiáng)管理

· 方便而人性化的操作

· 可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置:編碼硬件

· 基本測(cè)量功能

用戶友好性

 

功能性

· 讓未見變?yōu)榭梢姡篗IX觀察

· 創(chuàng)建超景深圖像:EFI

· 輕松移動(dòng)載物臺(tái)即可進(jìn)行全景拍攝:即時(shí)MIA

· 同時(shí)捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié):HDR

· 可調(diào)整滿足觀察和分析的偏好要求

· 容納各類樣品

MIX觀察

 

精密的光學(xué)元件

· 的光學(xué)性能:波像差控制

· 穩(wěn)定的色溫和高強(qiáng)度白光LED照明

· 支持精密測(cè)量:自動(dòng)校準(zhǔn)

· 無縫拼接:圖像陰影校正

自動(dòng)校準(zhǔn)

 

全面可定制性

· 可滿足用戶要求的各種配置

· 模塊化設(shè)計(jì),構(gòu)建自己的系統(tǒng)

奧林巴斯金相顯微鏡BX53M

 

直觀的顯微鏡控制

顯微檢查任務(wù)常常需要用很長的時(shí)間來調(diào)節(jié)顯微鏡設(shè)置、獲取圖像,以及進(jìn)行必要的測(cè)量,從而得到令人滿意的報(bào)告。用戶有時(shí)需要投入時(shí)間和金錢去完成專業(yè)的顯微鏡培訓(xùn),或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開展工作。

奧林巴斯工業(yè)顯微鏡BX53M通過其優(yōu)良的設(shè)計(jì)和便捷的控制功能,簡(jiǎn)化了復(fù)雜的顯微檢查任務(wù)。用戶不需要長時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX53M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性,大程度減少了人為錯(cuò)誤。

 

舒適且便于使用

讓傳統(tǒng)技術(shù)易于操作:簡(jiǎn)單的照明器

照明器的設(shè)計(jì)大程度減少了顯微鏡操作過程中所必須的復(fù)雜操作。 照明器前端的旋鈕使用戶能夠輕松地改變觀察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時(shí)快速切換常用的觀察方法,比如從明場(chǎng)觀察到暗場(chǎng)觀察,到偏光觀察,以隨時(shí)改變不同類型的分析。此外,可以旋轉(zhuǎn)檢偏鏡來實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單偏光觀察的調(diào)節(jié)。

照明器前端的旋鈕使用戶能夠輕松地改變觀察方法

操作者能夠在經(jīng)常使用的觀察方法之間快速切換(AlSi的拋光態(tài)樣品)



直觀的顯微鏡控制:視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設(shè)置

使用正確的孔徑光闌和視場(chǎng)光闌設(shè)置能夠獲得良好的圖像對(duì)比度,還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑。指示標(biāo)志可引導(dǎo)用戶根據(jù)觀察方法和所用物鏡進(jìn)行正確的設(shè)置。

使用正確的孔徑光闌和視場(chǎng)光闌設(shè)置能夠獲得良好的圖像對(duì)比度,還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑

 

快速找到焦點(diǎn):對(duì)焦刻度標(biāo)尺

機(jī)架上的對(duì)焦刻度標(biāo)尺可以讓操作者快速鎖定焦點(diǎn)。操作者不用通過目鏡查看樣品就可以大致地對(duì)準(zhǔn)焦點(diǎn),從而在檢查具有不同高度的樣品時(shí)節(jié)省了時(shí)間。

對(duì)焦刻度標(biāo)尺

 

一致的照明:智能光強(qiáng)管理

在初始設(shè)定時(shí),可以調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度,使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉(zhuǎn)換器的特定硬件配置匹配。

智能光強(qiáng)管理


傳統(tǒng)的光強(qiáng) 

傳統(tǒng)的光強(qiáng) 

傳統(tǒng)顯微鏡中,提高了放大倍率,以及使用需要更多光線的觀察方法后,圖像會(huì)變得更暗。

智能光強(qiáng)管理

 

改變放大倍率或觀察方法時(shí),顯微鏡自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)到正確值

改變放大倍率或觀察方法時(shí),顯微鏡自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)到正確值。

 

方便而人性化的操作

人性化設(shè)計(jì)對(duì)所有用戶都至關(guān)重要。無論是單機(jī)顯微鏡用戶,還是集成了奧林巴斯Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統(tǒng)用戶,都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設(shè)計(jì)的手動(dòng)控制器。簡(jiǎn)單的手動(dòng)開關(guān)讓用戶能夠?qū)W⒂跇悠泛蜋z查工作本身。

 用于旋轉(zhuǎn)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的手動(dòng)開關(guān) 手動(dòng)控制器曝光按鈕

用于旋轉(zhuǎn)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的手動(dòng)開關(guān)      手動(dòng)控制器                    曝光按鈕

 

可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置:編碼硬件

BX53M采用了新的編碼功能,將顯微鏡的硬件設(shè)置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強(qiáng)度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動(dòng)控制器里。編碼功能可實(shí)現(xiàn)顯微鏡設(shè)置與每幅圖像一起自動(dòng)保存,從而可輕松完成此后的還原設(shè)置,以及為報(bào)表提供文檔記錄。既節(jié)省了操作者的時(shí)間,又大程度地減小了使用不正確設(shè)置的概率。當(dāng)前的觀察設(shè)置總是清晰地顯示在手動(dòng)控制器和軟件上。

操作步驟

操作者A

操作者B

不同的操作者使用不同的設(shè)置

不同的操作者使用不同的設(shè)置

易于驗(yàn)證正確的設(shè)置

易于驗(yàn)證正確的設(shè)置

使觀察設(shè)置保持同步

使觀察設(shè)置保持同步

盡管操作者不同,但設(shè)置相同

盡管操作者不同,但設(shè)置相同

 

針對(duì)各種檢查和分析任務(wù)的功能

BX53M保留了常規(guī)顯微鏡檢查的傳統(tǒng)襯度對(duì)比法,比如明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光和微分干涉。隨著新材料的發(fā)展,現(xiàn)在可以使用的顯微鏡檢查技術(shù)來進(jìn)行更精確和更可靠的檢查,從而解決了以往很多使用傳統(tǒng)襯度對(duì)比法檢查時(shí)遇到的缺陷檢測(cè)方面的困難。新的照明技術(shù)和奧林巴斯Stream圖像分析軟件內(nèi)的圖像獲取選項(xiàng)為用戶提供了評(píng)估樣品、文檔記錄的更多選擇。

此外,BX3M還可用于比傳統(tǒng)型號(hào)更大、更重、更特殊的樣品。

 

MIX觀察:讓未見變?yōu)榭梢?/span>

BX3M的MIX觀察技術(shù)組合了明場(chǎng)和暗場(chǎng)照明方法。MIX照明滑塊中的LED光源,以定向暗場(chǎng)光線照射樣品。這種方式類似于傳統(tǒng)暗場(chǎng)照明,但又可為LED的不同角度光線照射提供四分象限選擇功能。這種定向暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光、或偏光的組合稱為MIX照明,有助于突出顯示缺陷和區(qū)分隆起與凹陷表面。

 

傳統(tǒng)的

明場(chǎng)將光線直接照射在樣品上,暗場(chǎng)則使光線沿物鏡的周圍從側(cè)面照射樣品,突出顯示了劃痕和缺陷。

明暗場(chǎng)將光線

 

MIX

MIX觀察是通過一個(gè)環(huán)形LED光源來形成明場(chǎng)、熒光或偏光與定向暗場(chǎng)的組合??梢哉{(diào)節(jié)LED光源,選擇從哪個(gè)方向進(jìn)行照明。該方法可在傳統(tǒng)方法無法觀察的表面上獲得的對(duì)比度并可突出表面特征。

環(huán)形LED光源

 

即時(shí)MIA:輕松移動(dòng)載物臺(tái)即可進(jìn)行全景拍攝

現(xiàn)在不需要電動(dòng)載物臺(tái),僅僅移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識(shí)別技術(shù)來生成全景圖像,為用戶提供了比單一畫面更廣闊的視野。

一枚硬幣的即時(shí)MIA圖像

一枚硬幣的即時(shí)MIA圖像。

 

EFI:創(chuàng)建超景深圖像

奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像(EFI)功能能夠獲取高度超過物鏡焦深的樣品圖像,把通過不同焦面的圖像疊加在一起,創(chuàng)建出一幅超景深圖像??梢允褂檬謩?dòng)或電動(dòng)Z軸機(jī)構(gòu)來執(zhí)行EFI,并可創(chuàng)建一幅高度圖,以輕松地識(shí)別樣品結(jié)構(gòu)。也可以用Stream桌面版在離線時(shí)創(chuàng)建EFI圖像。

超景深圖像

 

HDR:同時(shí)捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)

高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)使用了的圖像處理技術(shù),能夠針對(duì)一幅圖像內(nèi)的亮度差異進(jìn)行調(diào)節(jié),從而減少了眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺效果,從而為用戶制作報(bào)告時(shí)提供專業(yè)的圖像。

燃油噴射器

借助HDR功能,同時(shí)清晰呈現(xiàn)出高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)
(樣品:燃油噴射器)

 

鎂切片

借助HDR功能,增強(qiáng)了對(duì)比度
(樣品:鎂切片)

 

測(cè)量

常規(guī)或基礎(chǔ)測(cè)量功能

通過奧林巴斯Stream軟件可以實(shí)現(xiàn)多種測(cè)量功能,從而使用戶可以很輕松地從圖像中獲取有用的數(shù)據(jù)。在質(zhì)量控制和檢查時(shí)常常需要對(duì)圖像進(jìn)行測(cè)量。所有級(jí)別的奧林巴斯Stream 軟件都包括了交互式的測(cè)量功能,比如距離、角度、矩形、圓、橢圓和多邊形。所有測(cè)量結(jié)果都與圖像文件一起保存,用于今后的文件檢索。

常規(guī)或基礎(chǔ)測(cè)量功能

 

計(jì)數(shù)和測(cè)量

目標(biāo)探測(cè)和尺寸分布測(cè)量,是數(shù)碼圖像中重要的應(yīng)用。Stream軟件使用閾值分割方法進(jìn)行目標(biāo)探測(cè),能夠可靠地從背景中分離目標(biāo)(比如顆粒、劃痕)。

計(jì)數(shù)和測(cè)量

 

材料解決方案

奧林巴斯Stream軟件提供了基于工作流程的直觀界面,可用于復(fù)雜的圖像分析。點(diǎn)擊按鈕即可快速、精確地執(zhí)行復(fù)雜的圖像分析任務(wù),并且符合常用的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。由于明顯減少了重復(fù)任務(wù)的處理時(shí)間,因此材料學(xué)家們可以專注于分析和研究。還能夠在任何時(shí)候方便地添加用于夾雜物和標(biāo)準(zhǔn)評(píng)級(jí)圖對(duì)比的模塊化插件。

材料解決方案

 

3D測(cè)量

使用外部電動(dòng)對(duì)焦機(jī)構(gòu)時(shí),可以快速獲取EFI圖像,并以3D視圖顯示。獲取的高度數(shù)據(jù)可用于剖面上的3D測(cè)量,或通過單視圖進(jìn)行3D測(cè)量。

 粗糙度試驗(yàn)樣品 單視圖和3D剖面測(cè)量

3D表面視圖(粗糙度試驗(yàn)樣品)            單視圖和3D剖面測(cè)量

 

容納各類樣品

可以容納更多的樣品類型和尺寸

新型150×100mm載物臺(tái)在X方向上提供了比以前的型號(hào)更大的行程。再加上其載物臺(tái)板的平板式設(shè)計(jì),可以輕松地將大樣品,或多個(gè)樣品放置在載物臺(tái)上。載物臺(tái)板上開有小孔,可用于固定樣品架。更大的載物臺(tái)為用戶提供了靈活性,使他們能夠在一臺(tái)顯微鏡上檢查更多的樣品,從而節(jié)省了寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間??烧{(diào)節(jié)扭力的載物臺(tái)方便了高倍下窄視野的微調(diào)定位。

 

樣品高度和重量的高適應(yīng)性

BX53M105mm的樣品放置在載物臺(tái)上

BX53MRF-S

使用選配的模塊組件可以將105mm的樣品放置在載物臺(tái)上。由于改進(jìn)了調(diào)焦機(jī)構(gòu),因此顯微鏡可以容納最重6kg的總重量(樣品+載物臺(tái))。這就意味著BX3M可以檢查更大、更重的樣品,從而減少了實(shí)驗(yàn)室內(nèi)所需的顯微鏡數(shù)量。通過戰(zhàn)略性地將用于6英寸晶圓的旋轉(zhuǎn)托架放置在偏離中心的位置,在100mm行程范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí),用戶僅旋轉(zhuǎn)晶圓托架即可觀察整個(gè)晶圓表面。優(yōu)化了載物臺(tái)的扭力調(diào)節(jié),以便于使用,舒適的手柄使用戶更易于找到樣品的感興趣區(qū)域。

 

樣品尺寸大小的靈活性

奧林巴斯顯微鏡BXFM

BXFM

如果樣品太大,難以放置在常規(guī)顯微鏡載物臺(tái)上,則可以把用于反射光顯微鏡觀察的核心光學(xué)部件組裝到一個(gè)模塊化的系統(tǒng)里。這種模塊化系統(tǒng),就是BXFM,它可以通過一個(gè)支撐桿安裝在更大的支架上,或使用安裝托架安裝在另一臺(tái)儀器上。這就使用戶能夠充分利用奧林巴斯優(yōu)異的光學(xué)元件的優(yōu)勢(shì),即使其樣品在尺寸或形狀上都很*。

 

兼容ESD:保護(hù)電子裝置,防止受到靜電放電的影響

BX3M具有ESD靜電消除能力,防止電子裝置受到由人為或環(huán)境因素而導(dǎo)致的靜電的影響。

 

悠久歷史的光學(xué)技術(shù)

奧林巴斯公司擁有高品質(zhì)光學(xué)儀器研發(fā)的悠久歷史,創(chuàng)造了多項(xiàng)光學(xué)質(zhì)量的記錄,保證了顯微鏡優(yōu)異的測(cè)量精度。

 

的光學(xué)性能:波像差控制

使用顯微鏡進(jìn)行高級(jí)研究或系統(tǒng)集成時(shí),所有物鏡的光學(xué)性能必須標(biāo)準(zhǔn)化。奧林巴斯的UIS2物鏡提供了波像差控制,大程度減小了會(huì)降低分辨率的像差,從而獲得的數(shù)值孔徑(NA)和工作距離(WD)性能指標(biāo)。

波像差控制



 

穩(wěn)定的色溫和高強(qiáng)度白光LED照明

BX3M為反射光和透射光照明提供了高強(qiáng)度的白光LED光源。無論強(qiáng)度是多少,LED都保持著一致的色溫。LED提供了高效而長壽命的照明,是材料學(xué)檢測(cè)應(yīng)用的理想工具。

通過鹵素?zé)臬@得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng) 通過LED獲得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng)
通過鹵素?zé)臬@得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng)        通過LED獲得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng)

 

支持精密測(cè)量:自動(dòng)校準(zhǔn)

類似于數(shù)碼顯微鏡,使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)也能夠?qū)嵤┳詣?dòng)校準(zhǔn)。自動(dòng)校準(zhǔn)消除了校準(zhǔn)過程中的人為變化因素,能夠獲得更可靠的測(cè)量結(jié)果。自動(dòng)校準(zhǔn)的算法采用多個(gè)測(cè)量點(diǎn)的平均值來自動(dòng)計(jì)算正確的校準(zhǔn)量。這就大程度減小了不同操作者產(chǎn)生的差異,保持了一致的精確性,提高了定期驗(yàn)證的可靠性。

自動(dòng)校準(zhǔn)

 

無縫拼接:圖像陰影校正

可以用奧林巴斯Stream軟件完成陰影校正,以補(bǔ)償圖像角落四周的陰影。使用光強(qiáng)閾值設(shè)置時(shí),陰影校正提供了更精確的分析。此外,使用MIA拼接圖像時(shí),可以獲得更均勻的全景圖像。

圖像陰影校正
1 x 3 MIA圖像 (示例:薄膜濾色片上的殘留)

左側(cè)圖片:圖像拼接時(shí),原始圖像拼接處有陰影 
右側(cè)圖片:陰影校正后,整個(gè)視野照明均勻

 

應(yīng)用

反射光顯微鏡檢查涵蓋的應(yīng)用和行業(yè)非常廣泛,下面僅選擇了使用不同觀察方法效果的部分示例。

暗場(chǎng)觀察

暗場(chǎng)能夠觀察標(biāo)本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會(huì)反射這種光,而平整的部位則顯得很暗,因此缺陷部位就會(huì)清晰地顯示出來。用戶甚至可以識(shí)別出極細(xì)微的劃痕,或小到8nm級(jí)別的缺陷 – 比光學(xué)顯微鏡的分辨能力還要小。因此,暗場(chǎng)是檢測(cè)標(biāo)本上細(xì)微劃痕或缺陷,以及鏡面標(biāo)本(包括晶圓)的理想工具。

表面貼裝基板

表面貼裝基板:DF

 

微分干涉觀察

微分干涉是一種顯微鏡觀察技術(shù),這種技術(shù)把明場(chǎng)觀察所不能檢測(cè)到的標(biāo)本高度差,變?yōu)楦〉駹罨蛉S圖像,改善了圖像襯度。該技術(shù)使用了偏光,并有三種專門定制設(shè)計(jì)的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細(xì)微高度差的標(biāo)本的理想工具,包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤介質(zhì)和拋光晶圓表面。

球墨鑄鐵檢測(cè)

球墨鑄鐵檢測(cè):DIC

 

偏光觀察

這種顯微鏡觀察技術(shù)使用了由一套濾色片(檢偏鏡和起偏鏡)產(chǎn)生的偏光。標(biāo)本的特性直接影響顯微鏡反射光的強(qiáng)度。這種技術(shù)適用于金相組織(比如球墨鑄鐵上石墨生長的形態(tài))、礦石、LCD和半導(dǎo)體材料。

絹云母

絹云母:POL

 

熒光

該技術(shù)用于通過濾色片激發(fā)塊照明,使標(biāo)本能夠發(fā)出熒光(發(fā)出不同波長的光),特定的激發(fā)塊可用于特定的應(yīng)用。它適合于檢查半導(dǎo)體晶圓上的異物、光阻殘留物,以及通過熒光染料檢測(cè)裂縫??梢赃x配復(fù)消色差集光鏡系統(tǒng)的燈箱,以補(bǔ)償從可見光到近紅外光的色差。

半導(dǎo)體晶圓上的顆粒異物

半導(dǎo)體晶圓上的顆粒異物:FL

 

紅外光

IR觀察是非破壞性地檢查可以透過紅外光的硅材料或玻璃材料構(gòu)成的電子元器件內(nèi)部的方法。

電極切片

電極切片:IR

 

透射光觀察

對(duì)于透明樣品,比如LCD、塑料和玻璃材料,可以使用各種聚光鏡進(jìn)行透射光觀察。組建一個(gè)光學(xué)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)透射光明場(chǎng)和偏光進(jìn)行樣品檢查非常方便。

透射光觀察

 

*系統(tǒng)化

模塊化的設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)多種配置,以滿足用戶的各種要求。

 

用于材料學(xué)的配置

BX53M反射和反射/透射觀察

BX53M IR觀察

BX3M系列有兩種顯微鏡機(jī)架,一種僅用于反射光,一種用于反射光和透射光組合。兩種機(jī)架都可配置手動(dòng)、編碼或電動(dòng)部件,并且都配備有ESD防靜電功能。

奧林巴斯金相顯微鏡BX53MRF-S 奧林巴斯金相顯微鏡BX53MTRF-S

BX53MRF-S配置圖例         BX53MTRF-S配置圖例

 

BX53M IR觀察

BX3M系列有兩種顯微鏡機(jī)架,一種僅用于反射光,一種用于反射光和透射光組合。兩種機(jī)架都可配置手動(dòng)、編碼或電動(dòng)部件,并且都配備有ESD防靜電功能。IR物鏡可用于透過硅材料成像,進(jìn)行半導(dǎo)體檢查和測(cè)量。配備了5倍到100倍紅外(IR)物鏡,提供了從可見光波長到近紅外的像差校正。對(duì)于高放大倍率的物鏡,配備了LCPLN-IR系列帶校正環(huán)的物鏡,校正由樣品厚度導(dǎo)致的像差。使用一個(gè)物鏡即可獲取清晰的圖像。

奧林巴斯金相顯微鏡BX53M

 

物鏡

放大倍率

NA

W.D.(mm)

蓋玻片厚度(mm)

硅厚度(mm)

分辨率*1(μm)

LMPLN-IR

5X

10X

0.1

0.3

23

18

0-0.17

0-0.17

6.71*3

2.24*3

LCPLN-IR*2

20X

50X

100X

0.45

0.65

0.85

8.3

4.5

1.2

0-1.2

0-1.2

0-0.7

0-1.2

0-1.2

0-1.0

1.49*3

1.03*3

0.79*3

*1 孔徑光闌全開時(shí)計(jì)算的分辨率

*2 到FN22,不適用于FN26.5

*3 使用1100nm波長

 

IR物鏡 無校正環(huán) 有校正環(huán)

IR物鏡           無校正環(huán)    有校正環(huán)

 

BX53M偏光觀察

BX53M偏光顯微鏡具有鮮明的偏光成像,是地質(zhì)學(xué)家的理想之選。比如礦物鑒定、晶體光學(xué)特性的分析和巖石薄片的鑒定等各種研究,都得益于穩(wěn)定的顯微鏡系統(tǒng)性和精密的光學(xué)系統(tǒng)。

奧林巴斯偏光顯微鏡BX53M 奧林巴斯偏光顯微鏡BX53M

BX53M正像鏡檢偏光配置     BX53M錐光鏡檢偏光配置

 

用于錐光鏡檢和正像鏡檢的勃氏鏡

采用U-CPA錐光觀察附件使錐光鏡檢和正像鏡檢之間的切換簡(jiǎn)單而快捷。可以清晰地對(duì)焦后焦平面的干涉圖樣。勃氏鏡的視場(chǎng)光闌使其能夠始終獲取銳利而清晰的錐光圖像。

偏光附件

偏光附件

 

無應(yīng)力光學(xué)元件

UPLFLN-P無應(yīng)力物鏡得益于奧林巴斯的設(shè)計(jì)和制造技術(shù),將內(nèi)部應(yīng)力降這就意味著更高的EF值,從而可以得到的圖像反差。

UPLFLN-P無應(yīng)力物鏡

UPLFLN-P無應(yīng)力物鏡

 

UPLFLN-P系列



物鏡

NA

W.D.

UPLFLN 4XP

0.13

17.0 mm

UPLFLN 10XP

0.3

10.0 mm

UPLFLN 20XP

0.5

2.1 mm

UPLFLN 40XP

0.75

0.51 mm

UPLFLN 100XOP

1.3

0.2 mm

PLN-P



物鏡

NA

W.D.

PLN 4XP

0.1

18.5 mm

ACHN-P系列



物鏡

NA

W.D.

ACHN 10X

 0.25

6.0 mm

ACHN 20XP

0.40

3.0 mm

ACHN 40XP

0.65

0.45 mm

ACHN 100XOP

1.25

0.13 mm

 

種類豐富的補(bǔ)色器和波長板

提供了六種不同的補(bǔ)色器,用于測(cè)量巖石和礦物薄片的雙折射。測(cè)量光程差水平范圍從0到20λ。針對(duì)更方便的測(cè)量和高圖像反差,可以使用Berek和Senarmont補(bǔ)色器,它們能在整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)改變光程差級(jí)別。

補(bǔ)色器和波長板

 

補(bǔ)色器的測(cè)量范圍

補(bǔ)色器

測(cè)量范圍

應(yīng)用

厚Berek補(bǔ)色器(U-CTB)

0-11000 nm(20_)

高光程差級(jí)別的測(cè)量(R*>3λ),(晶體、高分子、纖維等)

Berek補(bǔ)色器(U-CBE)

0-1640 nm(3_)

光程差級(jí)別的測(cè)量(晶體、高分子、活體生物等)

Senarmont補(bǔ)色器(U-CSE)

0-546 nm(1_)

光程差級(jí)別的測(cè)量(晶體、活體生物等)圖像對(duì)比度的增強(qiáng)(活體生物等)

Brace-Koehler補(bǔ)色器1/10λ(U- CBR1)

0-55 nm(1/10_)

低光程差級(jí)別的測(cè)量(活體生物等)

Brace-Koehler補(bǔ)色器1/30λ(U- CBE2)

0-20 nm(1/30_)

低光程差級(jí)別的測(cè)量(活體生物等)

石英楔(U-CWE2)

500-2200 nm(4_)

光程差級(jí)別的近似測(cè)量(晶體、高分子等)

* R=光程差水平

對(duì)于大多數(shù)精確測(cè)量,建議補(bǔ)色器(除U-CWE2以外)與干涉濾色片45-IF546組合使用。

 

BXFM系統(tǒng)

BXFM適合于特殊應(yīng)用,或整合進(jìn)其它儀器中。模塊化結(jié)構(gòu),再加上各種特殊的小型照明器和固定裝置,使其可以直接用于*的環(huán)境和配置。

奧林巴斯顯微鏡BXFM

 

模塊化設(shè)計(jì),構(gòu)建自己的系統(tǒng)

顯微鏡機(jī)架

兩種顯微鏡機(jī)架可用于反射光;一種還具有透射光觀察能力。同時(shí)配備了一個(gè)適配器,以抬升照明器,適應(yīng)更高的樣品。

BX53M顯微鏡機(jī)架

■: 可用于

 反射光

透射光

樣品高度

1

BX53MRF-S


0-65 mm

2

BX53MTRF-S

0-35 mm

1, 3

BX53MRF-S + BX3M-ARMAD


40-105 mm

2, 3

BX53MTRF-S + BX3M-ARMAD

40-75 mm


支架

兩種顯微鏡機(jī)架可用于反射光;一種還具有透射光觀察能力。同時(shí)配備了一個(gè)適配器,以抬升照明器,適應(yīng)更高的樣品。顯微鏡檢查時(shí)如果樣品不適合放在載物臺(tái)上,可以在更大的支架上或其它設(shè)備上安裝照明器和光學(xué)元件。

奧林巴斯顯微鏡BX53M支架

BXFM + BX53M照明器配置

1

BXFM

調(diào)焦機(jī)構(gòu)/可安裝于φ32mm的支柱

2

BX3M-ILH

照明器托架

3

BXFM-ILHSPU

BXFM用減振彈簧

5

U-ST

底座

6

SZ-STL

大底座


BXFM + U-KMAS照明器配置

1

BXFM

調(diào)焦機(jī)構(gòu)/可安裝于φ32mm的支柱

4

BXFM-ILHS

U-KMAS托架

5

U-ST

底座

6

SZ-STL

大底座

 

鏡筒

使用目鏡進(jìn)行顯微鏡成像,或通過相機(jī)觀察時(shí),請(qǐng)根據(jù)觀察過程中的成像類型和操作者的觀察姿勢(shì)選擇鏡筒。

BX53M觀察筒


FN

類型

角度類型

圖像

屈光度調(diào)節(jié)裝置數(shù)

1

U-BI30-2

22

雙目

固定式

倒像

1

2

U-TBI-3

22

雙目

傾斜式

倒像

1

3

U-TR30-2

22

三目

固定式

倒像

1

4

U-TR30IR

22

IR用三目

固定式

倒像

2

5

U-ETR-4

22

三目

固定式

正像

2

6

U-TTR-2

22

三目

傾斜式

倒像

2

7

U-SWTR-3

26.5

三目

固定式

倒像

2

8

U-SWETTR-5

26.5

三目

傾斜式

正像

2

9

U-TLU

22

單口鏡筒




10

U-TLUIR

22

IR用單口鏡筒




 

照明器

照明器根據(jù)選擇的觀察方法將光線投射到樣品上。軟件與編碼照明器配套使用,可以讀出分光鏡組件的位置,并自動(dòng)識(shí)別觀察方法。

BX53M照明器

■: 可用于

編碼功能

光源

BF

DF

DIC

POL

IR

FL

混合

AS/FS

1

BX3M-RLAS-S

3個(gè)固定式分光鏡組件位置

LED-內(nèi)置



2

BX3M-URAS-S

4個(gè)可換裝的分光鏡組件位

LED



鹵素?zé)?/span>


汞燈/光導(dǎo)


3

BX3M-RLA-S


LED



鹵素?zé)?/span>


4

BX3M-KMA-S


LED-內(nèi)置





5

BX3-ARM

透射光觀察鏡臂

6

U-KMAS


LED





鹵素?zé)?/span>




 

光源

用于樣品照明的光源和電源,請(qǐng)根據(jù)觀察方法選擇合適的光源。

光源

標(biāo)準(zhǔn)LED光源配置

1

BX3M-LEDR

用于反射光的LED燈箱

2

U-RCV

使用BX3M-URAS-S,DF觀察時(shí)必須的DF轉(zhuǎn)換接口,BF觀察則視情況所需

3

BX3M-PSLED

用于LED燈箱的電源,需要BXFM系統(tǒng)

4

BX3M-LEDT

用于透射光的LED燈箱

 

熒光光源配置

5

U-LLGAD

光導(dǎo)適配器

2

U-RCV

使用BX3M-URAS-S,DF觀察時(shí)必須的DF轉(zhuǎn)換接口,BF觀察則視情況所需

6, 7

U-LLG150 (300)

光導(dǎo),長度:1.5米(3米)

8

U-HGLGPS

用于熒光的光源

9, 10

U-LH100HG(HGAPO)

用于熒光的汞燈燈箱

2

U-RCV

使用BX3M-URAS-S,DF觀察時(shí)必須的DF轉(zhuǎn)換接口,BF觀察則視情況所需

11

U-RFL-T

用于100W汞燈的電源

 

鹵素?zé)艉望u素IR光源配置

12

U-LH100L-3

鹵素?zé)魺粝?/span>

13

U-LH100IR

IR用鹵素?zé)魺粝?/span>

14

U-RMT

鹵素?zé)魺粝涞难娱L線,電纜長度1.7米(必要時(shí)需要延長線)

15, 16

TH4-100 (200)

用于100W鹵素?zé)舻?00V(200V)電源

17

TH4-HS

鹵素?zé)艄鈴?qiáng)調(diào)節(jié)開關(guān)(不用光強(qiáng)調(diào)節(jié)開關(guān),也可以使用TH4-100(200)進(jìn)行光強(qiáng)調(diào)節(jié))

 

 

物鏡轉(zhuǎn)換器

物鏡和滑塊的附件。選擇所需的物鏡數(shù)量和類型;以及是否帶滑塊附件。

BX53M物鏡轉(zhuǎn)換器

■:可用于

類型

孔數(shù)

BF

DF

DIC

MIX

ESD

對(duì)中孔數(shù)

1

U-P4RE

手動(dòng)

4





4

2

U-5RE-2

手動(dòng)

5






3

U-5RES-ESD

編碼

5





4

U-D6RE

手動(dòng)

6





5

U-D6RE-ESD-2

手動(dòng)

6




6

U-P6RE

手動(dòng)

6




2

7

U-D7RE

手動(dòng)

7





8

U-D6RES

手動(dòng)

6





9

U-D7RES

手動(dòng)

7





10

U-D5BDREMC

電動(dòng)

5



11

U-5BDRE

手動(dòng)

5





12

U-D5BDRE

手動(dòng)

5



13

U-P5BDRE

手動(dòng)

5


2

14

U-D6BDRE

手動(dòng)

6



15

U-D5BDRES-ESD

編碼

5


16

U-D6BDRES-S

編碼

6


17

U-D6REMC

電動(dòng)

6



18

U-D6BDREMC

電動(dòng)

6



 

滑塊

選擇DIC滑塊來補(bǔ)充常規(guī)的明場(chǎng)觀察。采用DIC滑塊后,在獲取有關(guān)樣品的形貌信息時(shí),可以選擇高對(duì)比度型或高分辨率型。MIX組合式照明使用起來非常靈活,它在暗場(chǎng)光路中提供了分區(qū)的LED光源。

DIC滑塊

 


類型

棱鏡裂距大小

適用的物鏡

1

U-DICR

標(biāo)準(zhǔn)

MPLFLN, MPLAPON,

LMPLFLN, and LCPLFLN-LCD

2

U-DICRH

高分辨率

MPLFLN, MPLAPON

3

U-DICRHC

高對(duì)比度

LMPLFLN and LCPLFLN-LCD

 

用于MIX組合式觀察的MIX滑塊



類型

適用的物鏡

4

U-MIXR

MIX滑塊

MPLFLN-BD, LMPLFLN-BD, MPLN-BD

 

控制盒與手動(dòng)控制器

控制盒用于組合使用顯微鏡硬件與PC,手動(dòng)控制器用于硬件狀態(tài)顯示與控制

控制盒與手動(dòng)控制器

BX3M-CB(CBFM)配置

1

BX3M-CB

用于BX53M系統(tǒng)的控制盒

2

BX3M-CBFM

用于BXFM系統(tǒng)的控制盒

3

BX3M-HS

MIX觀察控制,編碼硬件的指示燈,軟件(Stream)的可編程功能按鈕

4

BX3M-HSRE

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器旋轉(zhuǎn)

5

U-HSEXP

相機(jī)的快門操作

 

U-CBS配置

6

U-CBS

BXFM配置中用于編碼功能的控制盒

5

U-HSEXP

相機(jī)的快門操作

 

電纜

U-MIXRCBL (ECBL)

U-MIXR電纜,電纜長度:0.5米(2.9米)

BX3M-RMCBL (ECBL)

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器電纜,電纜長度:0.2米(2.9米)

 

載物臺(tái)

用于放置樣品的載物臺(tái)和載物臺(tái)板。根據(jù)樣品形狀和尺寸進(jìn)行選擇。

載物臺(tái)

150mm×100mm載物臺(tái)配置

1

U-SIC64

150 mm×100 mm平板載物臺(tái)

2

U-SHG (T)

改善操作手感的硅膠手柄套薄型(厚型)

3

U-SP64

用于U-SIC64的載物臺(tái)板

4

U-WHP64

用于U-SIC64的晶圓板

5

BH2-WHR43

用于4-3英寸的晶圓托架

6

BH2-WHR54

用于5-4英寸的晶圓托架

7

BH2-WHR65

用于6-5英寸的晶圓托架

8

U-SPG64

用于U-SIC64的玻璃板

 

100 mm×100 mm載物臺(tái)配置

9, 10

U-SIC4R (L) 2

100mm×105mm右手(左手)操作載物臺(tái)

11

U-MSSP4

用于U-SIC4R(L)2的載物臺(tái)板

12

U-WHP2

用于U-SIC4R(L)2的晶圓板

6

BH2-WHR43

用于4-3英寸的晶圓托架

13

U-MSSPG

用于U-SIC64的玻璃板

 

52mm×76mm載物臺(tái)配置

14, 15 

U-SVR (L) M

52mm×76mm右手(左手)操作載物臺(tái)

2

U-SHG (T)

改善操作手感的硅膠手柄套薄型(厚型)

16

U-MSSP

用于U-SVR(/L)M的載物臺(tái)板

17, 18

U-HR (L) D-4

用于右側(cè)(左側(cè))開口的薄玻片夾

19, 20

U-HR (L) DT-4

用于右側(cè)(左側(cè))開口的厚玻片夾,在難以抬起標(biāo)本時(shí),用于將玻片按在載物臺(tái)頂部表面

 

其它

21

U-SRG

旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)

22

U-SRP

偏光旋轉(zhuǎn)載物臺(tái),可以從任意位置以45度鎖定

23

U-FMP

用于U-SRP/U-SRG的移動(dòng)標(biāo)本夾,移動(dòng)范圍:30mmx30mm

24

U-SP

固定式平板

 

相機(jī)適配器

用于照相觀察的適配器。可從要求的視野和放大倍率中選擇。使用以下公式可以計(jì)算實(shí)際的觀察范圍:實(shí)際視野(對(duì)角線mm)= 視野(視場(chǎng)數(shù))÷物鏡放大倍率。

相機(jī)適配器


放大倍率

對(duì)中調(diào)節(jié)

(mm)

CCD圖像范圍(視場(chǎng)數(shù))(mm)

2/3 in.

1/1.8 in.

1/2 in.

1

帶U-CMAD3-2

的U-TV1X-2

1


10.7

8.8

8

2

U-TV1XC

1

ø2

10.7

8.8

8

3

U-TV0.63XC

0.63


17

14

12.7

4

U-TV0.5XC-3

0.5


21.4

17.6

16

5

U-TV0.35XC-2

0.35




22

6

U-TV0.25XC

0.25





 

目鏡

用于直接觀察顯微鏡的目鏡。根據(jù)所需的視野進(jìn)行選擇。

■:可用于

FN(mm)

屈光度調(diào)節(jié)裝置

內(nèi)置十字絲

1

WHN10X

22



2

WHN10X-H

22


3

CROSS   WHN10X

22

4

SWH10X-H

26.5


5

CROSS   SWH10X

26.5

BX53M目鏡

 

濾色片

光學(xué)濾色片可以將照射到樣品的光線進(jìn)行各種類型的轉(zhuǎn)換。根據(jù)觀察需要選擇合適的濾色片。

濾色片

BF, DF, FL

1,   2, 3

U-25ND50,   25, 6

中性密度濾色片,透過率50%,25%,6%

4  

U-25LBD  

日光色濾色片

5  

U-25LBA  

鹵素?zé)羯珵V色片

6  

U-25IF550  

綠色濾色片

7  

U-25L42  

紫外阻擋濾色片

8  

U-25Y48  

黃色濾色片

9  

U-25FR   

磨砂濾色片(BX3M-URAS-S要求)

 

POL, DIC

10  

U-AN-2   

偏光方向固定

11  

U-AN360-3  

偏光方向可旋轉(zhuǎn)

12  

U-AN360P-2  

高質(zhì)量偏光方向可旋轉(zhuǎn)

13  

U-PO3  

偏光方向固定

14

U-POTP3

偏光方向固定,與U-DICRH配套使用

15  

45-IF546

用于偏光的綠色O45   mm濾色片

 

IR

16  

U-AN360IR

-

17  

U-POIR   

IR偏光方向固定

18  

U-BP1100IR

帶通濾色片:1100nm

19

U-BP1200IR

帶通濾色片:1200nm

 

透射光

20  

43IF550-W45  

綠色O45mm濾色片

21

U-POT

起偏鏡

使用BX3M-RLAS-S和U-FDICR時(shí)不需要AN和PO

 

其它

22  

U-25

空濾色片滑塊,與用戶定制的O25mm濾色片配套使用

23  

U-FC

透射濾色片盒;組合使用O45mm濾色片


聚光鏡

聚光鏡能會(huì)聚和聚焦透射光線。用于透射光觀察。

聚光鏡

1  

U-AC2

阿貝聚光鏡(適用于不小于5倍的物鏡)

2  

U-SC3

可轉(zhuǎn)出聚光鏡(適用于不小于1.25倍的物鏡)

3  

U-LWCD

用于玻璃板的長工作距離聚光鏡(U-MSSPG,U-SPG64)

4  

U-POC-2

用于偏光的可轉(zhuǎn)出聚光鏡


分光鏡組件

用于BX3M-URAS-S的分光鏡組件。根據(jù)所需的觀察進(jìn)行選擇。

激發(fā)塊

1

U-FBF

用于BF,ND濾色片可拆卸

2

U-FDF

用于DF

3

U-FDICR

用于POL,固定式尼科爾正交

4

U-FBFL

用于BF,內(nèi)置ND濾色片(需要同時(shí)使用BF*和FL)

5

U-FWUS

用于紫外線-FL:BP330-385   BA420 DM400

6

U-FWBS

用于藍(lán)色-FL:BP460-490   BA520IF DM500

7

U-FWGS

用于綠色-FL:BP510-550   BA590 DM570

8

U-FF

空鏡組

* 僅用于同軸反射照明


中間鏡筒

用于多種目的的各種類型的附件。在鏡筒與照明器之間使用。

中間鏡筒

1

U-CA

變倍器(1倍,1.25倍,1.6倍,2倍)

2

U-ECA

變倍器(1倍,2倍)

3

U-EPA2 

眼點(diǎn)調(diào)節(jié)器:+30mm

4

U-DP

用于U-DP1XC的雙端口

5

U-DP1XC

用于U-DP的C-接口TV相機(jī)適配器

6

U-TRU

三目中間鏡組


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