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半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號AES-4535
  • 所  在  地無錫市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2021/3/26 14:18:59
  • 訪問次數(shù)824
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無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司是一家集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的GAO端裝備制造企業(yè)，專業(yè)生產(chǎn)研發(fā)制冷加熱控溫系統(tǒng)、超低溫冷凍機(jī)、半導(dǎo)體控溫Chiller、新能源用控溫控流量系統(tǒng)等專用設(shè)備，廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥化工、半導(dǎo)體、新能源、儲能、數(shù)據(jù)中心、太陽能光伏等領(lǐng)域。


無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司擁有數(shù)位在超低溫、高低溫開發(fā)方面具有豐富經(jīng)驗(yàn)的高素質(zhì)專業(yè)設(shè)計(jì)人員的研發(fā)隊(duì)伍。特別是反應(yīng)釜高精度控溫為單一介質(zhì)控制-90度～+250度連續(xù)控溫，并且高精度線性控制反應(yīng)釜物料溫度。產(chǎn)品溫度范圍涉及-152度到350度。


門頭.jpg


我們的成功源自于不懈地幫助客戶提高生產(chǎn)力。



制冷加熱循環(huán)器、加熱制冷控溫系統(tǒng)、反應(yīng)釜溫控系統(tǒng)、加熱循環(huán)器、低溫冷凍機(jī)、低溫制冷循環(huán)器、冷卻水循環(huán)器、工業(yè)冷處理低溫箱、超低溫保存箱、藥品穩(wěn)定性測試箱、試驗(yàn)箱、培養(yǎng)箱、加熱制冷恒溫槽等設(shè)備。
產(chǎn)地 國產(chǎn) 產(chǎn)品大小 小型
產(chǎn)品新舊 全新 結(jié)構(gòu)類型 密封式,立式
結(jié)構(gòu)類型 密封式,立式 溫度 常溫冷水機(jī)
元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)
半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié) 產(chǎn)品信息

<strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong>

 型號AES-4535
 AES-4535W		AES-6035
 AES-6035W		AES-8035
 AES-8035W		AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃～225℃-60℃～225℃-80℃～225℃-100℃～225℃-120℃～225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s		-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s		-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s		-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s		-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度：5℃～32℃  0～50%RH
空氣處理能力7m³/h ～ 25m³/h  壓力5bar～7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓）
循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器西門子PLC，模糊PID控制算法
溫度控制控制出風(fēng)口溫度
可編程可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有）
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機(jī)法國泰康/艾默生
蒸發(fā)器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥）
操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸（風(fēng)）cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸（水）cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W帶W型號為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔）
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8		1.2m³/h
G3/4		1.6m³/h
G1		2.6m³/h
G1		3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035）
溫度擴(kuò)展高溫到 +300℃

 

<strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong>

半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)

半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)

　　半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置在長時間的使用過程中，也需要對半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置進(jìn)行必要的檢查和維護(hù)保養(yǎng)，定期維護(hù)有利于半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置制冷效率，同時也有利于延長壽命。

　　1、檢查并且校正半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置溫控器，確保溫控器正常顯示。

　　2、檢查半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的冷媒量，如果不夠，需要及時補(bǔ)充冷媒。

　　3、對半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的整個電控系統(tǒng)、主機(jī)電路系統(tǒng)做一次徹查，確保正常。

　　4、試機(jī)運(yùn)行并進(jìn)行總校正，測試過熱度是否正常，各個部件有無異常聲音等。

　　5、清洗半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的冷凝器/蒸發(fā)器，如果水質(zhì)不是太差的話，建議累積運(yùn)行半年清洗一次。半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置在長時間運(yùn)行當(dāng)中，會有很多水雜質(zhì)產(chǎn)生，會影響制冷效果以及使用壽命等。

　　6、檢查冷凍油及潤滑油系統(tǒng)，如有污染建議對其進(jìn)行更換，以利壓縮機(jī)更加自如的運(yùn)轉(zhuǎn)。

　　7、對半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置壓縮機(jī)馬達(dá)線圈進(jìn)行測試。

　　8、檢查并且校正半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的高、低壓壓力開關(guān)，確定高、低壓壓力在正常范圍內(nèi)。

9、檢查干燥過濾器是否正常，有沒有堵塞，必要時應(yīng)予以更換全新的干燥過濾器。

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