本設(shè)備的蒸發(fā)源共兩組,采取鎢舟蒸發(fā)源,水冷式銅電極,可*大支持300A的大電流,加熱溫度*高可達(dá)3000℃,可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍。本設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì),腔體和電控部分左右分置,實(shí)現(xiàn)了水電分離,有力的保證了用戶的安全。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計(jì),真空系統(tǒng)、樣品臺(tái)等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作,通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過(guò)面板獨(dú)立操作,在盡可能方便用戶的同時(shí)規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計(jì)完善性能*,是實(shí)驗(yàn)室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗(yàn)的*之選。
多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀 | ||||
樣品臺(tái) | 尺寸 | *大支持φ150mm樣品 | 高度 | 上下70mm可調(diào) |
蒸發(fā)源 | 數(shù)量 | 鎢舟x2 |
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真空腔體 | 腔體尺寸 | φ300x400mm | 觀察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 |
| 腔體材料 | 304不銹鋼 | 開(kāi)啟方式 | 前開(kāi)門式 |
膜厚控制 | 晶振式膜厚測(cè)量?jī)x,可選多通道膜厚控制儀 | |||
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵 | 雙極旋片泵 | 抽氣接口 | KF16 |
| 次級(jí)泵 | 渦輪分子泵 | 抽氣接口 | CF160 |
| 真空測(cè)量 | 電阻+電離 復(fù)合真空規(guī) | 排氣速率 | 機(jī)械泵1.1L/s 分子泵 600L/s |
| 極限真空 | 1.0E-5Pa | 供電電源 | AC 220V 50/60Hz |
| 抽氣速率 | 旋片泵:1.1L/S | ||
流量計(jì) | 一路質(zhì)量流量計(jì) 500sccm Ar氣 | |||
控制系統(tǒng) | PLC自動(dòng)控制 操作界面:觸控屏+操作面板 | |||
其他 | 供電電壓 | AC380V,50Hz | 整機(jī)尺寸 | 1000mm X 800mm X 1500mm |
| 整機(jī)功率 | 5kW | 整機(jī)重量 | 350kg |