該滑道爐由爐體和軌道支架部分組成,同時(shí)可搭配進(jìn)氣系統(tǒng)和真空裝置組成CVD系統(tǒng)。管式爐默認(rèn)為600mm長的單溫區(qū)設(shè)計(jì),可以形成較長的恒溫區(qū)域,也可定制為雙溫區(qū)或者三溫區(qū)爐膛,以適應(yīng)不同的試驗(yàn)需求。電爐安裝在滑軌支架上,可以實(shí)現(xiàn)快速升降溫,提升實(shí)驗(yàn)效率。爐管可配熱電偶測溫,可以準(zhǔn)確控制反應(yīng)條件。電爐采用智能溫控表控溫,操作簡便直觀。
滑道管式爐應(yīng)用領(lǐng)域:
本產(chǎn)品主要應(yīng)用于需要快速升降溫的實(shí)驗(yàn),尤其適合快速熱處理,也可以與其他設(shè)備共同組成CVD系統(tǒng)。
滑道管式爐技術(shù)參數(shù):
單溫區(qū)管式爐 | 產(chǎn)品型號 | CY-O1200-50I-T-L600 |
爐膛長度 | 820mm | |
加熱區(qū)長 | 600mm | |
恒溫區(qū)長 | 300mm | |
工作溫度 | 0~1100℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
控溫模式 | 30段程序控溫 | |
顯示模式 | LED高亮數(shù)碼管 | |
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
爐管 | 爐管材質(zhì) | 高純石英 |
爐管長度 | φ50mm x 2000mm | |
密封方式 | 304不銹鋼真空水冷法蘭 | |
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭 | |
抽氣系統(tǒng) | 機(jī)械泵 | VRD-4 |
抽氣速率 | 4L/S | |
排氣接口 | KF16 | |
真空測量 | 電阻規(guī) | |
極限真空 | 1×10E-1Pa | |
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
抽氣接口 | KF16 | |
軌道 | 軌道長度 | 2m 能實(shí)現(xiàn)爐子至少一個(gè)爐位長度的滑動(dòng),實(shí)現(xiàn)快速升降溫 |
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