分析探針臺T100
?顯微鏡放大倍數(shù):7-45倍
?垂直落實LED照明
?卡盤臺尺寸4",平整度5μm
?采用獨立真空控制開關(guān)控制載物臺真空吸附
?基座X-Y軸的移動范圍:2"*3"(50.8mm*50.8mm),精度:10um
?采用X-Y軸同軸控制,能夠快速精準(zhǔn)定位
?左右各一個針座平臺,可同時放置4個針座
?機臺尺寸:400mm(W)*400(D)*500mm(H)
?可根據(jù)客戶定制