ZYFB-1200復(fù)合分子泵機組
結(jié)構(gòu)特點
復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi) ((10-6 ~ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜*承和動密封的復(fù)合分子泵,可以做到*無油,且不用前級泵直接向大氣中排氣。
分類
這種泵具體可分為:
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量,被驅(qū)送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復(fù)合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。
工作條件
(1)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達到20000r/min,故分子泵啟動時間較長。
(2)氣體處于分子流狀態(tài),故需要配備前級泵,一般使用旋片泵作為前級泵。
ZYFB-1200復(fù)合分子泵
設(shè)計要點
在復(fù)合分子泵的設(shè)計中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉(zhuǎn)變,使氣體分子的運動在聯(lián)接處由有序變成無序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設(shè)計時應(yīng)在渦輪級和牽引級轉(zhuǎn)換處加上過渡級結(jié)構(gòu),以提高泵的抽氣性能。
隨著復(fù)合分子泵的不斷改進,其應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣,在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴散泵,縮短了系統(tǒng)的抽氣時間,并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境。
復(fù)合分子泵機組