CCD系列超高真空插板閥是用手動、氣動和電動機(jī)為動力,驅(qū)動閥板作啟閉動作,實現(xiàn)系統(tǒng)中氣體的截止或?qū)?。適用介質(zhì)為潔凈空氣及非腐蝕性氣體。
它具有結(jié)構(gòu)簡單,通導(dǎo)能力大,開閉時間短,安全可靠,堅固耐用并可自動控制等優(yōu)點。只有當(dāng)閥板兩側(cè)的壓力≤2.7×103Pa時,才允許開啟閥門。
廣泛應(yīng)用在電子、真空鍍膜、真空爐、冶金、材料、化工、醫(yī)藥以及食品等領(lǐng)域。
作為通徑小于250毫米的閉路閥門,被廣泛采用的的閥桿作直線運(yùn)動的真空波紋管截止閥。閘閥卻受到較大的限制,但這主要是對于大通徑來說的??捎玫倪€有球 形旋塞閥(球閥)、柱塞閥和蝶閥。作真空閥用的旋塞閥未得到推廣,因為旋塞閥需要用油潤滑,使油汽可能進(jìn)入真空系統(tǒng),而這是不允許的。真空閥門既可用現(xiàn)場 手控和遙控,也可用電動、電磁傳動(電磁閥)、氣動和液動控制。
真空閥門關(guān)閉件是用像膠密封圈或金屬密封圈來密封的。波紋管截止閥的波紋管是用不銹鋼、高鋅黃銅JI80、塑料和其他材料制成。小通徑(口徑在10毫米以下)的截止閥關(guān)閉件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞閥。
真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用
開關(guān)氣路,當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉,閥2打開時,三科閥門機(jī)械真空泵Ⅲ對容器I抽真空,氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路;當(dāng)閥2關(guān)閉,閥4打開時,機(jī)械泵可單獨(dú)對擴(kuò)散泵抽真空;當(dāng)閥1和閥4同時打開時,擴(kuò)散泵和機(jī)械泵可同時工作,對容器進(jìn)行抽空,此時氣流流經(jīng)擴(kuò)散泵。可見,閥門在這種操作中的作用是開關(guān)氣路,改變氣流的流經(jīng)路線。
2.控制氣流大小,調(diào)節(jié)真空度在圖1中,調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開啟角度,即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大小;關(guān)閉閥2和閥4,通過放氣閥3可以給機(jī)械泵Ⅲ的入口放成大氣;通過放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。
3.定量充氣,三科閥門在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞,當(dāng)小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時,小洞中就可充滿高壓氣體;當(dāng)它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時,就把該體積的高壓氣體放進(jìn)容器中去,這樣就起到了定量充氣的作用。
真空閥門的種類繁多,通常按閥門的職能、結(jié)構(gòu)型式、驅(qū)動方式、材料和用途進(jìn)行分類。
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