一、 產(chǎn)品開發(fā)背景

目前國內(nèi)的光學(xué)3D表面輪廓儀在技術(shù)指標(biāo)上與國外差距較大，且在整機(jī)的測量穩(wěn)定性上也存在一定的差距。由于技術(shù)差距，導(dǎo)致了國內(nèi)高精度的光學(xué)3D表面輪廓儀市場一直被國外占領(lǐng)，且形成了價格壟斷。SuperView W1 1100 光學(xué)3D表面輪廓儀在精度、穩(wěn)定性方面力求接近進(jìn)口品牌的水平，在價格和技術(shù)上打破國外的壟斷，提升了我國在測量領(lǐng)域的測量水平，*我國在表面3D檢測的精密光學(xué)儀器技術(shù)上的空白。

SuperView W1 1100 光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝檢測、超精密加工、納米材料、光學(xué)加工、集成電路工藝檢測、汽車零部件、機(jī)器人、MEMS器件檢測、薄膜檢測、航空航天、工、科研院所等行業(yè)及領(lǐng)域中?？蓽y各類從光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級別工件的輪廓、線粗糙度、面粗糙度，提供依據(jù)ISO/ASME/GBT國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)近百余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

二、 產(chǎn)品圖片

產(chǎn)品型號：SuperView  W1 1100

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

三、 產(chǎn)品描述

SuperView W1 1100光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對精密器件表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperView W1 1100光學(xué)3D表面輪廓儀的操作較為簡便，操作人員將工件放置在載物臺上，調(diào)整載物臺使被檢測區(qū)域移動到物鏡下方，調(diào)整Z軸高度，直至軟件測量窗口出現(xiàn)干涉條紋，調(diào)節(jié)載物臺上水平傾斜旋鈕使視場內(nèi)出現(xiàn)1~2個干涉條紋，點擊開始測量按鈕進(jìn)行測量，光學(xué)物鏡開始對器件表面進(jìn)行掃描，軟件實時獲取圖像并在掃描結(jié)束后重建出3D圖像，操作者可在軟件的分析界面中對圖像進(jìn)行處理，獲取器件表面的線、面粗糙度、輪廓等2D、3D數(shù)據(jù)。

SuperView W1 1100 光學(xué)3D表面輪廓儀采用光學(xué)非接觸式測量方法，它具有測量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點，其*的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。

系統(tǒng)軟件為簡體中文操作系統(tǒng)，操作方便。

四、 產(chǎn)品功能

1.行業(yè)應(yīng)用及范例

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應(yīng)用范例：

2．軟件功能

(1) 提供多種數(shù)據(jù)處理方式。

提供校平等操作調(diào)整圖像位置，降低對工件擺放位置的要求 ；

提供空間濾波、標(biāo)準(zhǔn)濾波、去除形狀等操作對數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，去除雜點噪聲對圖像分析的影響；

提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區(qū)域，對感興趣區(qū)域進(jìn)行專門分析。

(2) 提供多種分析工具。

提供距離、臺階高度等要素測量 ；

提供點、線、圓弧、角度等2D輪廓特征測量；

提供線、面的粗糙度、平面度、波紋度等3D參數(shù)分析功能，可方便地進(jìn)行用戶偏好設(shè)置；

提供依據(jù)三大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)(ISO/ASME/GBT)計算的2D，3D參數(shù)，參見參數(shù)表:

表 1：2D參數(shù)表

表 2：3D參數(shù)表

(3) 可視化的工作流模式，數(shù)據(jù)處理器和結(jié)果管理器具有可視工作流程樹圖，在每個節(jié)點既可以是數(shù)據(jù)處理選項也可以是分析結(jié)果。

(4) 多樣化的視圖觀察角度，3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征，并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。

(5) 內(nèi)置多種分析方案，可對特定表面進(jìn)行一鍵分析，自動生成一組分析結(jié)果，節(jié)省操作時間；并可自定義方案，將用戶的分析項目組合起來，避免重復(fù)操作。

(6) 擁有多種報表形式，用戶可根據(jù)需要導(dǎo)出分析結(jié)果到Word等常用辦公軟件中。

五、 性能特點

1、 高精度、高重復(fù)性、高穩(wěn)定性

1） 采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；

2） 精密的Z向掃描模塊和*的測量模式，保證測量重復(fù)性高；

3） 高性能的內(nèi)部抗震設(shè)計，為測量高穩(wěn)定性保駕護(hù)航。

2、 操作便捷的測量軟件

依托人性化設(shè)計的測量軟件，W1 1100 光學(xué)3D表面輪廓儀的操作具備如下特點：

1） XYZ三軸均采用電動控制，比手動調(diào)節(jié)省時更省力；

2） 可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；

3） 掃描完成后，掃描模塊自動跳轉(zhuǎn)初始位置，無須用戶重復(fù)操作；

4） Z向運動具備ZSTOP控制功能。

3、 功能強(qiáng)大的XtremeVision Basic版3D形貌分析軟件

XtremeVision Basic版3D形貌分析軟件，在分析功能上具有如下特點：

1） 強(qiáng)大的分析工具，不僅具備各種粗糙度參數(shù)分析功能，還具備強(qiáng)大的幾何輪廓分析功能；

2） 一鍵分析，常用的分析流程可保存為方案，測同種樣品一鍵獲取分析結(jié)果，提高批量測量效率；

3） 測量參數(shù)多，可測依據(jù)ISO/ASME/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的近百余種2D、3D參數(shù)。

六、 技術(shù)指標(biāo)

1. 參數(shù)指標(biāo)

注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)在實驗室環(huán)境下測量Ra為0.2nm硅晶片Ra參數(shù)獲得；

臺階測量性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178 在實驗室環(huán)境下測量標(biāo)稱值4.7um臺階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。

光學(xué)規(guī)格表

2. 儀器尺寸（長×寬×高）： 主機(jī)：900×700×604mm；

3. 儀器主機(jī)重量：小于90Kg；

4. 使用環(huán)境：無強(qiáng)磁場，無振動，無腐蝕氣體

工作溫度：15℃ ~ 30℃,溫度梯度<1℃/15分鐘

相對濕度：40-60%，無凝結(jié)

七、 產(chǎn)品配置清單

標(biāo)準(zhǔn)配置：

1) 白光干涉測量儀主機(jī) 1臺；

2) 干涉物鏡：10×；

3) XY位移平臺 1臺；

4) 臺階樣塊及粗糙度標(biāo)準(zhǔn)塊1套；

5) XtremeVision Basic測量分析軟件1套；

6) 品牌計算機(jī)1套；

7) HP激光打印機(jī)1臺（型號隨HP廠家變更而變更）；

8) 儀器配件箱1個；

9) 電氣控制箱1個；

10) 加壓裝置1套；

11) 產(chǎn)品使用說明書1套；

12) 產(chǎn)品合格證、保修卡1套；

13) 免費保修1年。

可選配置：

1） 干涉物鏡： 5×、20×、50×；

2） 影像系統(tǒng)：2048×2048；

3） 操作手柄1個；

4） T形槽圓形旋轉(zhuǎn)工作臺。

八、 交貨與驗收

1、 交貨

1）交貨期：合同生效后60個工作日內(nèi)。

2）交貨地點：免費快遞到需方的交貨地點。

2、 安裝與培訓(xùn)

1）我公司負(fù)責(zé)在用戶現(xiàn)場對設(shè)備行進(jìn)安裝和調(diào)試；

2）在設(shè)備安裝調(diào)試時對買方技術(shù)人員進(jìn)行理論、實際操作及維修等的培訓(xùn)，使用戶技術(shù)人員掌握設(shè)備操作，能熟練使用設(shè)備進(jìn)行檢定工作，保證設(shè)備正常運行并能排除設(shè)備的一般故障和特殊保養(yǎng)。

3、 驗收

1）驗收標(biāo)準(zhǔn)：以合同及技術(shù)協(xié)議為準(zhǔn)。

2）驗收項目：核對該設(shè)備的主機(jī)及附件、工具的數(shù)量及規(guī)格應(yīng)符合合同技術(shù)協(xié)議及設(shè)備使用說明書的要求；核對該設(shè)備的使用說明書等各類資料是否齊全，是否滿足技術(shù)協(xié)議要求。

3）在合同驗收和合同執(zhí)行過程中，如有任何影響設(shè)備的性能的漏項和短缺，如設(shè)備附件、技術(shù)資料、使用手冊、專用工具，備品備件、服務(wù)及技術(shù)指導(dǎo)等，我公司負(fù)責(zé)免費將漏項和短缺補(bǔ)齊。

4）驗收合格后，雙方簽定《產(chǎn)品驗收報告》。

5）產(chǎn)品外形以實物為準(zhǔn)；

九、 售后服務(wù)

1、 設(shè)備質(zhì)保期

1）驗收合格雙方簽定《產(chǎn)品驗收報告》后12個月內(nèi)；

2）在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生的故障，其故障部分質(zhì)保期自修復(fù)之日起順延。

2、 售后服務(wù)內(nèi)容

1）質(zhì)保期內(nèi)：實行“三包"，用戶所購設(shè)備各部件發(fā)生非人為故障，我司免費更換同種品牌不低于原價位、規(guī)格、型號的部件。

2）質(zhì)保期后：我公司提供持續(xù)的優(yōu)惠服務(wù)和技術(shù)支持，設(shè)備出現(xiàn)故障需要修理時，所換零件按成本價收取。軟件隨國家規(guī)程變更免費升級，硬件優(yōu)惠升級。

3）排故響應(yīng)時間：我司在接到報障信息后，2小時內(nèi)回應(yīng)，我司通過電話、及郵件的方式指導(dǎo)買方排除故障；若故障仍不能排除，將在72小時內(nèi)上門調(diào)試維修排故或用戶將儀器發(fā)回本公司維修。