產(chǎn)品說明

一、 產(chǎn)品開發(fā)背景

目前國內(nèi)的光學(xué)3D表面輪廓儀在技術(shù)指標(biāo)上與國外差距較大，且在整機的測量穩(wěn)定性上也存在一定的差距。由于技術(shù)差距，導(dǎo)致了國內(nèi)高精度的光學(xué)3D表面輪廓儀市場一直被國外占領(lǐng)，且形成了價格壟斷。SuperView W1 1200 光學(xué)3D表面輪廓儀在精度、穩(wěn)定性方面力求接近進口品牌的水平，在價格和技術(shù)上打破國外的壟斷，提升了我國在測量領(lǐng)域的測量水平，*我國在表面3D檢測的精密光學(xué)儀器技術(shù)上的空白。

SuperView W1 1200 光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝檢測、超精密加工、納米材料、光學(xué)加工、集成電路工藝檢測、汽車零部件、機器人、MEMS器件檢測、薄膜檢測、航空航天、工、科研院所等行業(yè)及領(lǐng)域中。可測各類從光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級別工件的輪廓、線粗糙度、面粗糙度，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

二、 產(chǎn)品圖片

產(chǎn)品型號：SuperView  W1 1200

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

三、 產(chǎn)品描述

SuperView W1 1200光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperView W1 1200光學(xué)3D表面輪廓儀只需操作者裝好被測器件，在軟件測量界面上設(shè)置好視場參數(shù)，調(diào)整鏡頭到接近器件表面，選擇自動聚焦，儀器會對器件表面進行自動對焦并找到干涉條紋，調(diào)節(jié)好干涉條紋寬度后即可開始進行掃描測量；掃描結(jié)束后，軟件分析界面自動生成器件3D圖像，操作者可通過軟件對生成的3D形貌進行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取表征器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。

SuperView W1 1200 光學(xué)3D表面輪廓儀采用光學(xué)非接觸式測量方法，它具有測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點，其*的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。

系統(tǒng)軟件為簡體中文操作系統(tǒng)，操作方便。

四、 產(chǎn)品功能

1．行業(yè)領(lǐng)域和應(yīng)用對象

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應(yīng)用范例：

2．軟件功能

(1) 提供多種數(shù)據(jù)處理方式。

提供校平、鏡像、旋轉(zhuǎn)等操作調(diào)整圖像位置；

提供空間濾波、標(biāo)準(zhǔn)濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數(shù)據(jù)進行修正；

提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區(qū)域。

(2) 提供多種分析工具。

提供距離、臺階高度等要素測量；

提供點、線、圓弧、角度等特征測量，以及直線度、真圓度等形位公差評定，為用戶展現(xiàn)強大的輪廓分析功能；

提供基于表面的紋理分析，方便地觀察紋理方向與紋理均質(zhì)性；

提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點計數(shù)、孔的體積等多種有針對性的分析功能；

提供頻譜分析功能，可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關(guān)性等；

提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能；

提供依據(jù)四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D，3D參數(shù)，參見參數(shù)表：

表 1：2D參數(shù)表

表 2：3D參數(shù)表

(3) 可視化的工作流模式，數(shù)據(jù)處理器和結(jié)果管理器具有可視工作流程樹圖，在每個節(jié)點既可以是數(shù)據(jù)處理選項也可以是分析結(jié)果。

(4) 多樣化的視圖觀察角度，3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征，并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。

(5) 內(nèi)置多種分析方案，可對特定表面進行一鍵分析，自動生成一組分析結(jié)果，節(jié)約操作時間；并可自定義方案，將用戶的分析項目組合起來，避免重復(fù)操作。

(6) 便捷的同步分析功能，可實時提取表面二維剖面，同步計算更新參數(shù)指標(biāo)，實現(xiàn)對樣品的操作所見即所得。

(7) 擁有多種報表形式，用戶可根據(jù)需要導(dǎo)出分析結(jié)果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。

五、 性能特色

1、 高精度、高重復(fù)性、高穩(wěn)定性

1） 采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；

2） 精密的Z向掃描模塊和*的測量模式，保證測量重復(fù)性高；

3） 高性能的內(nèi)部抗震設(shè)計，為測量高穩(wěn)定性保駕護航。

2、 自動化操作的測量軟件

依托人性化設(shè)計的測量軟件，W1 1200 光學(xué)3D表面輪廓儀的操作具備如下特點：

1） 自動聚焦，幫助用戶省去繁瑣的調(diào)節(jié)過程；

2） 可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；

3） 掃描完成后，掃描模塊自動跳轉(zhuǎn)初始位置，無須用戶手動操作；

4） 自動化測量，依托高精度定位光柵和相應(yīng)軟件模塊，針對大尺寸樣品可編程進行自動化測量；

3、 功能強大的的XtremeVision Pro版3D形貌分析軟件

XtremeVision Pro版3D形貌分析軟件，具有如下特點：

1） 分析工具齊全，幾何分析、參數(shù)分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

2） 同步分析，測量參數(shù)隨提取剖面實時變化，實現(xiàn)測量的所見即所得；

3） 一鍵分析，常用的分析流程可保存為方案，測同種樣品一鍵獲取分析結(jié)果，提高批量測量效率；

4） 測量參數(shù)齊全，可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達300余種2D、3D參數(shù)；

4、 精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

六、  技術(shù)指標(biāo)

1. 參數(shù)指標(biāo)

注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)在實驗室環(huán)境下測量Ra為0.2nm硅晶片Ra參數(shù)獲得；

臺階高性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)在實驗室環(huán)境下測量4.7μm臺階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。

光學(xué)規(guī)格表

2．儀器尺寸（長×寬×高）： 主機：900×700×604mm；

3．儀器主機重量：小于90Kg；

4．使用環(huán)境：無強磁場，無振動，無腐蝕氣體

工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 1℃/15分鐘

相對濕度：40-60%，無凝結(jié)

七、 相對濕度：40-60%，無凝結(jié)產(chǎn)品配置清單

標(biāo)準(zhǔn)配置：

1) 白光干涉測量儀主機  1臺；

2) 干涉物鏡：10× ；

3) XY自動工作臺 1臺；

4) 臺階樣塊及粗糙度標(biāo)準(zhǔn)塊1套；

5) XtremeVision Pro測量軟件1套；

6) 品牌計算機1套；

7) HP激光打印機1臺（型號隨HP廠家變更而變更）；

8) 儀器配件箱1個；

9) 電氣控制箱1個；

10) 加壓裝置1套；

11) 產(chǎn)品使用說明書1套；

12) 產(chǎn)品合格證、保修卡1套；

13) 免費保修1年。

可選配置：

1） 干涉物鏡：2.5×、5×、20×、50×、100×；

2） 影像系統(tǒng)：2048×2048；

3） 操作手柄1個；

4） T形槽圓形旋轉(zhuǎn)工作臺；

八、 產(chǎn)品配置清單

標(biāo)準(zhǔn)配置：

1) 白光干涉測量儀主機  1臺；

2) 干涉物鏡：10× ；

3) XY自動工作臺 1臺；

4) 臺階樣塊及粗糙度標(biāo)準(zhǔn)塊1套；

5) XtremeVision Pro測量軟件1套；

6) 品牌計算機1套；

7) HP激光打印機1臺（型號隨HP廠家變更而變更）；

8) 儀器配件箱1個；

9) 電氣控制箱1個；

10) 加壓裝置1套；

11) 產(chǎn)品使用說明書1套；

12) 產(chǎn)品合格證、保修卡1套；

13) 免費保修1年。

可選配置：

1） 干涉物鏡：2.5×、5×、20×、50×、100×；

2） 影像系統(tǒng)：2048×2048；

3） 操作手柄1個；

4） T形槽圓形旋轉(zhuǎn)工作臺；

九、交貨與驗收

1、 交貨

1）交貨期：合同生效后60個工作日內(nèi)。

2）交貨地點：免費快遞到需方的交貨地點。

2、 安裝與培訓(xùn)

1）我公司負責(zé)在用戶現(xiàn)場對設(shè)備行進安裝和調(diào)試；

2）在設(shè)備安裝調(diào)試時對買方技術(shù)人員進行理論、實際操作及維修等的培訓(xùn)，使用戶技術(shù)人員掌握設(shè)備操作，能熟練使用設(shè)備進行檢定工作，保證設(shè)備正常運行并能排除設(shè)備的一般故障和特殊保養(yǎng)。

3、 驗收

1）驗收標(biāo)準(zhǔn)：以合同及技術(shù)協(xié)議為準(zhǔn)。

2）驗收項目：核對該設(shè)備的主機及附件、工具的數(shù)量及規(guī)格應(yīng)符合合同技術(shù)協(xié)議及設(shè)備使用說明書的要求；核對該設(shè)備的使用說明書等各類資料是否齊全，是否滿足技術(shù)協(xié)議要求。

3）在合同驗收和合同執(zhí)行過程中，如有任何影響設(shè)備的性能的漏項和短缺，如設(shè)備附件、技術(shù)資料、使用手冊、專用工具，備品備件、服務(wù)及技術(shù)指導(dǎo)等，我公司負責(zé)免費將漏項和短缺補齊。

4）驗收合格后，雙方簽定《產(chǎn)品驗收報告》。

5） 產(chǎn)品外觀以實物為準(zhǔn)。

十、售后服務(wù)

1、 設(shè)備質(zhì)保期

1）驗收合格雙方簽定《產(chǎn)品驗收報告》后12個月內(nèi)；

2）在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生的故障，其故障部分質(zhì)保期自修復(fù)之日起順延。

2、 售后服務(wù)內(nèi)容

1）質(zhì)保期內(nèi)：實行“三包"，用戶所購設(shè)備各部件發(fā)生非人為故障，我司免費更換同種品牌不低于原價位、規(guī)格、型號的部件。

2）質(zhì)保期后：我公司提供持續(xù)的優(yōu)惠服務(wù)和技術(shù)支持，設(shè)備出現(xiàn)故障需要修理時，所換零件按成本價收取。軟件隨國家規(guī)程變更免費升級，硬件優(yōu)惠升級。

3）排故響應(yīng)時間：我司在接到報障信息后，2小時內(nèi)回應(yīng)，我司通過電話、及郵件的方式指導(dǎo)買方排除故障；若故障仍不能排除，將在72小時內(nèi)上門調(diào)試維修排故或用戶將儀器發(fā)回本公司維修。