2X-100旋片式真空泵

圖（1）是2X型旋片式真空泵的工作原理圖，轉(zhuǎn)子3及7與高真空室外1及低真空室6相切，轉(zhuǎn)子3及7沿箭頭方向旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)的轉(zhuǎn)片旋轉(zhuǎn),由于彈簧9及離心力的作用, 轉(zhuǎn)片外端緊貼高低真空室的內(nèi)表面滑動(dòng),把轉(zhuǎn)子與高低真空室所形成的月洼形空間從進(jìn)氣嘴2到排氣閥門5和從過氣管4到排氣閥門10之間分隔開來,形成二或三個(gè)容積,并且周期性的大小變化,當(dāng)在圖示旋片式真空泵位置繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)A及C容積逐漸增大,被抽容積氣體沒進(jìn)氣嘴進(jìn)入泵內(nèi),同時(shí)B及D容積逐漸減少,壓力升高,隨后沖開排氣閥門5及10,將氣體排出真空室外,氣體經(jīng)過油面而排于大氣之中,因?yàn)橛褪茄妥∨艢忾T的,故能防止氣體返回真空室。當(dāng)抽氣壓強(qiáng)較高時(shí),高低真空室的閥門都排氣,相當(dāng)于單級泵,當(dāng)真空度較高時(shí),全部氣體進(jìn)入真空室,再由排氣閥門10排出,此時(shí)二級串聯(lián)即進(jìn)入雙級泵工作。

　　 如被抽除的氣體中含有較高的蒸汽氣體時(shí)，在氣體受到壓縮而其蒸汽的分壓強(qiáng)超過此蒸汽在泵內(nèi)溫度下的飽和壓強(qiáng)時(shí)，此時(shí)蒸氣被壓縮成為液體，旋片式真空泵無法排出，而混在真空油內(nèi)，使泵的性能大大降低。如果摻入適量的空氣，使蒸汽在受到壓縮時(shí)，其分壓強(qiáng)也低于泵溫的飽和壓強(qiáng)，則蒸汽在變成液體前就能被排出泵外去，故本系列2X-4以上的旋片式真空泵都裝有能放入一定量氣體的摻氣閥11見圖（1）。

圖（1）:2X型旋片式真空泵原理圖