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詳細(xì)介紹
管狀部件 過濾精度0.1～10μm *流量40～60L/min
● 過濾精度范圍寬
可以對(duì)應(yīng)固定或脈沖方式下的0.1～10μm過濾精度。
● 高耐腐蝕性
過濾器沒有采用腐蝕性材料，不用擔(dān)心被腐蝕或者生成中間產(chǎn)物。
● 排氣特性
和的烘烤加熱器并用，APIMS方式測(cè)定的排氣（水分量）能夠達(dá)到1.2ppb。繼續(xù)使用可以達(dá)到0.1ppb的水平。過濾器內(nèi)部的雜質(zhì)預(yù)先采用特殊洗凈方式去除，排氣性能更加出色。
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