OTF-1200X-4-RTP 小型1000℃RTP爐

技術(shù)參數(shù):

爐體結(jié)構(gòu)

• 雙層莫來石鋼構(gòu)（不帶水冷或風(fēng)冷）
• 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

加熱元件

8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm)

加熱區(qū)

12" length with 4"X12”恒溫區(qū)（ +/-5ºC ）

石英管和樣品架

• 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
• 3" 的樣品架固定在滑動法蘭上，石英材料
• 一片3" AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。
• AlN 具有很高的熱導(dǎo)率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+/- 5°C

真空法蘭

• 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個高溫“O”型圈密封
• 滑動法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。

水冷

如果要求通冷卻水.

• 請確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20ºC; 水壓 > 25 PSI
• 我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（為了節(jié)約用水）.
• 警告: 這款 RTP 爐在1000ºC ~ 1100ºC下保溫時間不超過 600 秒，否則“ O”圈將被燒融
  
  

流量計

范圍： 16 - 160 ml/min

真空表

• 數(shù)字真空表，測量范圍：10mtorr~800 torr .
• 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

• 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr .
• 用分子泵真空度可達(dá) 10^-4 torr .

溫度控制

PID 自動控制， 可控硅 SCR

熱偶

進(jìn)口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下。

溫控儀

• PID 自動控制，30段程序帶過熱和斷偶保護(hù)功能
• 熱偶: 進(jìn)口K type
• 自整定功能
• 控溫精度: +/- 1°C
• RS485 串口和溫控軟件

升溫速度

降溫速度

溫度

電源

尺寸

重量