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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
一、技術(shù)特點(diǎn)：
1.多達(dá)六路探頭可同時(shí)監(jiān)控，每路自由設(shè)置，既能獨(dú)立運(yùn)行，也可聯(lián)合工作。
2.每路二組繼電器輸出，到達(dá)設(shè)置厚度自動(dòng)關(guān)閉擋板/蒸發(fā)源；
3.全觸摸屏操作顯示，簡(jiǎn)單易用；
4.提供RS232/RS485接口，MODBUS RTU標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議，多波特率可選，并配有控制軟件。
二、應(yīng)用范圍：
適用于普通蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測(cè)量，特別適合多蒸發(fā)源鍍膜機(jī)和多腔室鍍膜機(jī)進(jìn)行膜層監(jiān)控；
膜厚監(jiān)控儀的控制和顯示均通過觸摸屏實(shí)現(xiàn)，使您能獲取完整的沉積數(shù)據(jù)，包括速率、厚度和鍍膜時(shí)間等。
三、主要參數(shù)：
| CY-FTM-M4/M6多通道監(jiān)控儀 |
晶振頻率 | 6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體) |
顯示方式 | 5"彩色觸屏+1路數(shù)碼管顯示速率和實(shí)厚 |
操作方式 | 觸摸屏 |
厚度顯示范圍 | 0-99μ9999? |
厚度實(shí)際分辨率 | 0.1?（鋁） |
厚度顯示分辨率 | 1? |
速率范圍 | 0-999.9? |
速率顯示分辨率 | 0.1?/s |
鍍膜層數(shù) | 99層 |
探頭輸入 | 4路/6路（可同時(shí)工作） |
工具因子 | 0.01-99.99 |
材料存儲(chǔ) | 257+自定義10種 |
通 訊 | RS232/RS485 MODBUS RTU協(xié)議 |
擋板/源控制 | 每路2組觸點(diǎn)，到達(dá)厚度關(guān)擋板/蒸發(fā)源 |
鍍膜顯示 | 數(shù)值/速率曲線 |
鍍膜巡回次數(shù) | 0-99 |
機(jī)箱尺寸 | 480×250×89mm(2U 19"機(jī)箱) |
四、特殊功能：
（1）任意設(shè)置每一路的工作狀態(tài)，具有人工停止鍍膜功能；
（2）可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比；
（3）顯示鍍膜結(jié)束后的監(jiān)測(cè)厚度、晶振頻率、材料和層次。
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