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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
膜厚控制儀
技術(shù)特點(diǎn)：
1. 全觸屏操作，簡(jiǎn)單易用；
2.32個(gè)膜系，每膜系50/100層自動(dòng)鍍膜；
3. 12路信號(hào)輸入/12路開(kāi)關(guān)量輸出；
4. 提供全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)控制模式;
5.可控制2個(gè)源，一套工作另一套預(yù)溶；
技術(shù)參數(shù)
| CY-FDC-S控制儀 |
晶振頻率 | 6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體) |
顯示方式 | 5"彩色觸屏+數(shù)碼管顯示速率和實(shí)厚 |
操作方式 | 觸摸屏 |
終 厚 | 00μ0000?-99μ9999? |
厚度顯示分辨率 | 1?/s |
速率顯示分辨率 | 0.1?/s |
鍍膜層數(shù) | 32膜系，每膜系50/100層； |
探頭數(shù)量 | A B |
工具因子 | 0.01-99.99 |
時(shí)間顯示 | 00:00:00-23:59:59 H:M:S |
功率顯示 | 0～99.9% |
預(yù)熔功率 | 0～99% |
預(yù)鍍功率 | 0～99.9% |
預(yù)熔時(shí)間/預(yù)鍍時(shí)間 | 0～99:99 m:s |
預(yù)熔保溫時(shí)間 /預(yù)鍍保溫時(shí)間 | 0～99:99 m:s |
鍍膜速率（設(shè)定速率） | 0～999.9?/s |
材料存儲(chǔ) | 257+自定義10種 |
通 訊 | RS232/RS485 |
可控蒸發(fā)源 | 2個(gè)，可一套工作另一套預(yù)溶 |
輸出控制 | ±10V/5V/2.5V |
I/接口 | 12路信號(hào)輸入/12路開(kāi)關(guān)量輸出 |
可控坩堝數(shù)量 | 1-16個(gè) |
鍍膜顯示 | 速率曲線(xiàn)/數(shù)值 |
鍍膜巡回次數(shù) | 每膜系50/100層自動(dòng) |
機(jī)箱尺寸 | 480×280×89mm(2U 19"機(jī)箱) |
特殊功能：
1、手動(dòng)、半自動(dòng)、自動(dòng)3種鍍膜模式，滿(mǎn)足多種鍍膜機(jī)配置；
2、人工停止鍍膜：鍍膜過(guò)程中人工終止鍍膜；
3、手動(dòng)控制：確定初次鍍膜工藝要求；
4、中斷膜系：自動(dòng)和半自動(dòng)鍍膜中發(fā)現(xiàn)問(wèn)題或出現(xiàn)故障，能停止鍍膜并能自動(dòng)保存當(dāng)前狀態(tài)，待故障**后，可從中斷膜系繼續(xù)鍍膜；
5、自動(dòng)或半自動(dòng)鍍膜時(shí)，如晶振失效，可選擇按終止鍍膜、按當(dāng)前功率時(shí)間鍍膜、切換晶片繼續(xù)（多晶片探頭）；
6、兩個(gè)源同時(shí)預(yù)熔：當(dāng)前層鍍膜開(kāi)始過(guò)程中，可選擇同時(shí)對(duì)第2層進(jìn)行預(yù)熔，以滿(mǎn)足對(duì)時(shí)間要求緊張的場(chǎng)合；
7、密碼保護(hù)：膜系和膜層參數(shù)密碼保護(hù)功能，保護(hù)工藝參數(shù)不被非工藝人員修改；
8、鍍膜數(shù)據(jù)記錄：自動(dòng)或半自動(dòng)鍍膜時(shí)，系統(tǒng)可記錄每層膜的成膜時(shí)間、*終厚度速率參數(shù)。
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