詳細(xì)介紹
樣品臺(tái) | 尺寸 | 100mm |
旋轉(zhuǎn)速度 | 1~20rpm可調(diào) | |
等離子濺射靶 | 數(shù)量 | 2英寸x3 |
冷卻方式 | 自然冷卻 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm X 210mm |
觀察窗口 | 全向可視 | |
腔體材料 | 高純石英 | |
開啟方式 | 頂蓋拆卸式 | |
上下蓋材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
抽氣接口 | KF16 | |
進(jìn)氣接口 | 1/4英寸卡套接頭 | |
電源配置 | 數(shù)量 | 直流電源x1 |
輸出功率 | *大150W | |
濺射電源 | 1200V | |
*大濺射電流 | 50mA | |
真空系統(tǒng) | 真空泵類型 | 雙極旋片真空泵 |
抽氣接口 | KF16 | |
排氣接口 | KF16 | |
抽氣速率 | 1.1L/s(4m3/h) | |
極限真空度 | ≥0.1Pa | |
真空測(cè)量 | 電阻真空規(guī) | |
其他 | 供電電源 | AC 220V 50Hz |
整機(jī)功率 | 1.5kW | |
整機(jī)尺寸 | 500mm X 320mm X470mm | |
整機(jī)重量 | 30kg |