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1200℃雙溫區(qū)3路質量供氣低...

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  • 型號 CY- O1200-50IIT-3Z-LV
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  • 廠商性質 其他
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更新時間:2020-12-31 16:07:59瀏覽次數(shù):349

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產品簡介

簡單介紹: 1200℃雙溫區(qū)3路質量供氣低真空CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)管式爐、三路質量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐兩個溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨立控溫,通過調節(jié)各個溫區(qū)的溫度,該管式爐可以在加熱區(qū)內形成兩段溫度梯度或是形成較長的恒溫區(qū)域。每個溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。1200℃雙溫區(qū)3路質量供氣低真空CV......

詳細介紹

詳情介紹:

1200雙溫區(qū)3路質量供氣低真空CVD系統(tǒng)同時管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠的提高您的實驗效率。

系統(tǒng)所配有的三路質量流量計,精度高可靠性強,可以準確混合1~3路氣體,操作面板采用數(shù)字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術人員定制任意數(shù)量的氣路。

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。

技術參數(shù):

產品型號

CY- O1200-50IIT

爐管材質

高純石英

爐管直徑

50mm(可選配60mm、80mm、100mm

爐管長度

1000mm

爐膛長度

440mm

加熱區(qū)長

200mm+200mm

工作溫度

01100

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

統(tǒng)

產品型號

CY-3Z

氣體通道

3通道

測量部件

氣體質量流量計

測量量程

A通道:0100SCCM    H2

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

B通道:0300SCCM    N2

C通道:0500SCCM    Ar

測量精度

±1.0%F.S

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50300KPa

連接管道

304不銹鋼

控制閥門

304不銹鋼針閥

接口規(guī)格

進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

供電電源

AC:220V 50/60Hz

統(tǒng)

機械泵

旋片泵

抽氣速率

1.1L/S

排氣接口

KF16

真空測量

電阻規(guī)

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

抽氣接口

KF16

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