詳細介紹
1200雙溫區(qū)3路質量供氣低真空CVD系統(tǒng)同時管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠的提高您的實驗效率。
系統(tǒng)所配有的三路質量流量計,精度高可靠性強,可以準確混合1~3路氣體,操作面板采用數(shù)字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術人員定制任意數(shù)量的氣路。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。
真 空 管 式 爐 | 產品型號 | CY- O1200-50IIT | |
爐管材質 | 高純石英 | ||
爐管直徑 | 50mm(可選配60mm、80mm、100mm) | ||
爐管長度 | 1000mm | ||
爐膛長度 | 440mm | ||
加熱區(qū)長 | 200mm+200mm | ||
工作溫度 | 0~1100℃ | ||
控溫精度 | ±1℃ | ||
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | ||
顯示模式 | LCD | ||
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | ||
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | ||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
供 氣 系 統(tǒng) | 產品型號 | CY-3Z | |
氣體通道 | 3通道 | ||
測量部件 | 氣體質量流量計 | ||
測量量程 | A通道:0~100SCCM H2氣 | 備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 | |
B通道:0~300SCCM N2氣 | |||
C通道:0~500SCCM Ar氣 | |||
測量精度 | ±1.0%F.S | ||
管道耐壓 | 3MPa | ||
工作壓差 | 50~300KPa | ||
連接管道 | 304不銹鋼 | ||
控制閥門 | 304不銹鋼針閥 | ||
接口規(guī)格 | 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
排 氣 系 統(tǒng) | 機械泵 | 旋片泵 | |
抽氣速率 | 1.1L/S | ||
排氣接口 | KF16 | ||
真空測量 | 電阻規(guī) | ||
極限真空 | 1.0E-1Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
抽氣接口 | KF16 |
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