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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
該雙溫區(qū)真空管式爐不僅可以抽真空，也可以通保護(hù)性氣氛。開(kāi)啟式爐膛結(jié)構(gòu)有利于爐管拆卸和觀察物料裝載，操作簡(jiǎn)單。透明石英管腔體可以直觀的看到樣品的燒結(jié)狀態(tài)。本管式爐爐管水平穿過(guò)爐膛，加熱元件呈四周均勻分布，溫場(chǎng)均勻，爐管內(nèi)部和爐膛之間的內(nèi)外溫差可控制在3度左右。爐體設(shè)計(jì)有緩沖上蓋支撐結(jié)構(gòu)讓操作時(shí)可安全開(kāi)啟。
該款雙溫區(qū)真空管式爐的組合主要適用于需要控制反應(yīng)濕度的CVD試驗(yàn)和反應(yīng)。
雙溫區(qū)管式爐技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng)目 | 明細(xì) | |
雙溫區(qū)管式爐 | 供電電壓 | AC110V;60Hz |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
加熱速率 | 建議10℃/min | |
熱電偶類型 | B型熱電偶 | |
爐管尺寸 | φ80（OD）×φ74（ID）×1000（L）mm | |
爐管材料 | 高純石英 | |
密封法蘭 | 帶有1/4英寸的氣體接口和真空接口 | |
加熱溫區(qū) | 200mm+200mm | |
溫度控制 | 1） PID全自動(dòng)控制加熱速率，冷卻速率以及保溫時(shí)間 2） PID控制超溫保護(hù)和短偶保護(hù) 3） 超溫保護(hù)在報(bào)警功能使該設(shè)備可在無(wú)人看管的情況下運(yùn)行 4） 溫度精度在±1℃（即顯示的溫度和實(shí)際溫度差） | |
加熱元件 | 電爐絲 | |
蒸發(fā)器 | 容量 | 300mL |
加熱套工作溫度 | ≤250℃ | |
功能 | 有精密可編程溫度控制器控制； 容器上有兩個(gè)SS針閥和一個(gè)壓力表 | |
濕度監(jiān)測(cè)器 | 安裝方式 | KF25適配器連接至加工管法蘭 |
測(cè)量范圍 | 0-*RH，1.5%FS精度，或-60°~+60°DP | |
測(cè)量精度 | ±0.3° | |
使用方法 | 調(diào)節(jié)蒸發(fā)器水內(nèi)溫度和H2氣體流量以達(dá)到所需濕度水平 | |
三路防腐浮子流量計(jì) | 閥門類型 | 不銹鋼針閥 |
管道正常情況 | 關(guān)閉 | |
氣體方式 | 3通道 | |
連接尺寸 | 1/4" | |
壓力范圍 | -0.1~0.15Mpa | |
管芯材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
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