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詳細介紹
詳情介紹：
緊湊型紫外線臭氧清洗機采用不需要任何溶劑的干式清洗技術(shù)，對清洗表面沒有損傷。采用大功率低壓石英汞燈，產(chǎn)生波長185nm和254nm的紫外線，185nm的光可以將氧分子O2轉(zhuǎn)變成活性的臭氧分子O3，254nm的光同時激發(fā)清洗表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短，且同時也被254nm的光分解，因此可調(diào)節(jié)樣品臺到燈管的距離來優(yōu)化性能。
緊湊型紫外線臭氧清洗機技術(shù)參數(shù)：
輸入功率 | AC 110V or AC 208~240V( 可選的) |
紫外燈 | ? 固體金屬雙波汞燈 ? 紫外燈功率：大55W。 ? 波長：254nm和185nm ? 紫外燈使用壽命：2500小時 ? 紫外線照射面積：100×100 mm（4"×4"） ? 峰值紫外線強度：4.6毫瓦/平方厘米。 |
腔室和樣品臺 | ? 外形尺寸：9 1/2"×7 7/8"×6" ? 抽屜尺寸：5 1/4"×5 1/4"×1" ? 抽屜到燈的距離：1 1/16“ ? 從基座到燈的距離：5/16“ ? 硼硅酸鹽玻璃基座：4"×4"×3/4" ? 18號鋼制底盤和蓋板，粉末涂層 ? 總重量：9磅 |
合規(guī) | CE認證 |
保證 | 一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室不保修) |
環(huán)境要求 | ? 只在室內(nèi)使用;海拔高度可達5,562英尺; ? 溫度范圍41-104華氏度; ? 高相對濕度80％，高達87 華氏度線性降低至50％相對濕度，華氏104度; ? 主電源波動不超過額定電壓的10％;過壓類別II; ? 污染等級2;臭氧水平（環(huán)境）測量<45 ppb。 |
Application | ? 清潔SPT，AFM**和表面的分子污染 ? 固化UV-粘合劑 ? SAM表面的紫外光圖案化 ? 氧化PDMS ? 蝕刻，圖案，銳化 ? 清潔MEMS器件 ? 清潔襯底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶體襯底 |
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