耐腐蝕柜式勻膠機(jī)

CY-S-PC柜式勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

1. 耐腐蝕PP全柜式獨(dú)立勻膠臺(tái)

2.勻膠機(jī)底部帶廢膠收集，頂部帶抽風(fēng)功能

3.可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能，適合工業(yè)化生產(chǎn)

4.集成觸摸屏控制，上下移動(dòng)式透明觀察窗

5.使用伺服電機(jī)系統(tǒng)，性能穩(wěn)定，滿足工業(yè)要求

CY-S-PC柜式勻膠機(jī)產(chǎn)品參數(shù)：

1.旋涂程序：至多存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可**到0.1秒

2.轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-5000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm

3.旋涂加速度：0-10000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s

4.馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差：< ±1rpm

5.轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度和重復(fù)性：1rpm

6.工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec

7.支持晶圓尺寸25px-300mm（12“圓晶）

8.旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量）

9..可配備多路自動(dòng)點(diǎn)膠功能，點(diǎn)膠流速0.006-990ml/min可調(diào)

10.標(biāo)配三種規(guī)格真空載物盤(pán)，其它尺寸可定制設(shè)計(jì)

11.可配備多路自動(dòng)點(diǎn)膠功能，點(diǎn)膠流速0.006-990ml/min可調(diào)

12.標(biāo)配三種規(guī)格真空載物盤(pán)，其它尺寸可定制設(shè)計(jì)

13.外型尺寸：1200mm(W)*800mm(D)*2300mm(H)

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